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스핀들을 포함하는 초정밀가공장치에 있어서,상기 스핀들(1)의 선단에 제 1 체결수단(300)에 의해 체결 고정되는 지그(100); 및상기 지그(100)의 선단에 제 2 체결수단(400)에 의해 고정되는 고정단(210)과, 상기 고정단(210)의 선단에서 연장되는 목부(220), 및 상기 목부(220)의 선단에서 연장되는 미러부(230)로 형성되되, 상기 목부(220)의 지름보다 미러부(230)가 큰 지름으로 형성되어, 상기 목부(220)와 미러부(230)의 지름크기의 차이에 의해 경계면(240)이 형성된 복제코어(200);로 가공되는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어
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제 1 항에 있어서, 상기 지그(100)는제 1 체결수단(300)에 의해 스핀들(1)의 선단에 체결 고정되는 플랜지부(110); 및상기 플랜지부(110)의 선단에 돌출 형성되고, 그 선단에 복제코어(200)의 고정단(210) 후단 일부가 삽입되는 일정 깊이의 고정단부(122)가 형성된 돌출부(120);로 형성되는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 지그(100)의 후단에는선단에 위치하는 복제코어(200)의 고정단(210)을 상기 지그(100)의 후단에서 체결 고정하도록 제 2 체결수단(400)이 삽입되되, 상기 지그(100)의 후단과 스핀들(1)의 선단의 밀착력에 간섭되지 않도록 상기 제 2 체결수단(400)이 삽입되도록 체결공간(130)이 일정 깊이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어
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제 1 항에 있어서,상기 복제코어(200)의 목부(220)와 미러부(230)의 높이편차에 의해 형성된 경계면(240)의 높이는 0
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제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 복제코어(200)의 표면에는 코팅층(260)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어
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제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 복제코어(200)에는 코팅층의 경계를 표시하기 위한 코팅표시부(250)가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어
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1 차 가공된 복제코어와 지그 및 초정밀가공장치의 스핀들의 중심 회전축을 상호 센터링으로 고정하는 제 1 센터링단계(S10)와;상기 제 1 센터링단계(S10)를 통해 센터링이 완료된 1차 가공된 복제코어를 초정밀가공장치에 의해 2차 복제코어로 형성하는 가공단계(S20);상기 가공단계(S20)를 통해 형성된 2차 복제코어의 표면에 코팅층을 형성하되, 상기 코팅층은 50~200㎛의 두께를 가지는 무전해 니켈을 형성하여 복제코어를 완성하는 코팅단계(S30);상기 코팅단계(S30)를 통해 표면에 코팅층이 형성된 복제코어의 미러부 표면에 증착층을 형성하되, 상기 증착층은 300~1000㎚의 두께를 가지는 금박을 형성하는 증착단계(S60);상기 증착단계(S60)를 통해 증착층이 형성된 복제코어의 표면에 접착층을 도포하되, 상기 접착층은 에폭시로 형성하는 도포단계(S70);상기 도포단계(S70)를 통해 도포층이 형성된 복제코어의 미러부에 상기 미러부와 회전대칭형상을 가지되, 일정간격을 유지하는 복제미러기반을 삽입하여, 상기 복제코어와 복제미러기반 사이 간격에 접착층이 충진된 상태를 유지하는 삽입단계(S80);상기 삽입단계(S80)를 통해 접착층이 복제코어와 복제미러기반 사이에 충진된 상태로 상온에서 상기 접착층이 경화되는 시간 동안 방치하는 경화단계(S90);상기 경화단계(S90)를 통해 복제코어와 복제미러기반 사이의 접착층이 경화되고, 상기 복제코어와 복제미러기반의 양단으로 돌출되어 경화된 접착층을 제거하는 제거단계(S100); 및상기 제거단계(S100)를 통해 복제코어와 복제미러기반의 양단에 돌출된 접착층을 제거한 후 상기 복제코어와 복제미러기반을 상호 분리시키면, 접착층에 의해 복제코어의 표면에 증착된 증착층이 접착층에 접착된 상태로 상기 접착층은 복제미러기반의 내경에 접착된 상태로 경화되어, 상기 복제미러기반의 내경에 증착층이 접착된 완성된 복제미러를 형성하는 분리단계(S110);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어를 이용한 엑스선 미러 복제 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 코팅단계(S30)와 증착단계(S60) 사이에는상기 코팅단계(S30)를 통해 표면에 코팅층이 형성된 복제코어를 초정밀가공장치에 고정하되, 스핀들과 지그 및 복제코어를 센터링하는 제 2 센터링단계(S40); 및상기 제 2 센터링단계(S40)를 통해 초정밀가공장치에 센터링된 복제코어의 코팅된 미러부를 초정밀가공장치에 의해 초정밀가공 하는 초정밀가공단계(S50);가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어를 이용한 엑스선 미러 복제 방법
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제 7항 또는 제 8 항에 있어서,상기 제 1 또는 제 2 센터링단계(S10)(S40)는지그와 가공된 복제코어를 제 2 체결수단을 통해 가 고정하는 지그와 복제코어가 고정단계(S11)와;상기 지그와 복제코어 가 고정단계(S11)를 통해 가 고정된 지그와 복제코어를 스핀들에 제 1 체결수단을 통해 가 고정하고, 상기 가 고정된 지그의 외주에 게이지를 위치시켜 상기 스핀들의 회전으로 상기 지그의 진원도 오차범위로 보정하여 스핀들과 지그를 완전 체결 고정하고, 상기 지그에 위치된 게이지를 복제코어로 위치 이동한 후 스핀들을 회전시켜 상기 복제코어의 진원도를 보정하여, 상기 스핀들과 지그 및 복제코어를 센터링하는 지그와 스핀들 가 고정 및 센터링단계(S12);상기 지그와 스핀들 가 고정 및 센터링단계(S12)를 통해 센터링된 스핀들에서 상호 가 고정된 지그와 복제코어를 분리하고, 상기 분리된 지그와 복제코어를 가 고정에서 완전 체결 고정으로 고정하는 분리 및 지그와 복제코어 고정단계(S13); 및상기 분리 및 지그와 복제코어 고정단계(S13)를 통해 완전 고정된 지그와 복제코어를 스핀들에 제 1 체결수단을 통해 가 고정한 후 게이지를 상기 지그에 위치시켜 상기 스핀들과 지그를 상호 센터링하여, 제 1 체결수단을 통해 가 고정에서 완전 체결 고정하는 지그와 스핀들 고정단계(S14);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑스선 미러 복제코어를 이용한 엑스선 미러 복제 방법
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