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엑스선을 이용하여 피검체를 촬영하고, 촬영된 피검체 영상을 3차원으로 재구성하여 단층 영상으로 보여주는 엑스선 단층촬영장치에 있어서,피검체로 엑스선이 조사되도록 엑스선을 발생하는 엑스선 발생수단(10)과;상기 엑스선 발생수단(10)의 일측에 마련되고, 피검체인 생체시료가 고정되는 홀더(20);상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 엑스선 발생수단(10)의 엑스선이 상기 홀더(20)의 생체시료를 투과하며, 상기 투과된 엑스선의 광양자(photon)를 전자로 변환하고, 상기 변환된 전자를 증배시킨 영상을 획득하는 엑스선 검출수단(30);상기 홀더(20)의 일측에 마련되고, 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료가 사체로 변환되지않도록 상기 생체시료를 일정 온도로 냉각시켜주는 냉각수단(40);상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 하단에 마련되어, 상기 엑스선 발생수단(10)과 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)이 광축선 상에 일치하도록 상기 홀더(20), 및 엑스선 검출수단(30)의 위치를 정렬하는 구동수단(50); 및상기 엑스선 발생수단(10)과, 홀더(20), 엑스선 검출수단(30), 냉각수단(40), 및 구동수단(50)을 제어하고, 또한 상기 엑스선 검출수단(30)을 통해 획득한 영상을 3차원으로 구성하여, 이를 출력할 수 있도록 하는 제어부(60);로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 1 항에 있어서, 상기 엑스선 발생수단(10)은1um이하의 서브 나노 크기의 초점을 가지고, 투과형 타입(transmission type)인 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 1 항에 있어서, 상기 냉각수단(40)은가스 공급탱크(42)와;상기 가스공급탱크(42)와 홀더(20) 사이에 마련되어, 상기 가스공급탱크(42)로부터 제공되는 가스에 의해 상기 홀더(20)에 고정된 생체시료가 냉각되도록 상기 냉각가스를 이송하는 가스 공급관(44); 및상기 가스 공급관(44)의 타측에 마련되어, 상기 가스공급관(44)의 내부에 저장된 가스를 외부로 배기시켜주는 배기펌프(46);로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 3 항에 있어서,상기 가스공급관(44)의 일측에는 상기 가스공급관(44)을 통해 이송되는 가스를 냉각시켜주기 위한 냉각액이 저장된 보조냉각통(48)이 더 구성되는 있는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 1 항에 있어서, 상기 구동수단(50)은테이블(52)과;상기 테이블(52)의 일측에 마련되고, 홀더(20)를 X, Y, Z 축으로 이송하는 홀더이송스테이션(54);상기 홀더이송스테이션(54)의 상단에 마련되고, 상기 홀더(20)를 회전시키는 회전스테이션(56);상기 테이블(52)의 타측에 마련되고, 엑스선 검출수단(30)을 X, Y, Z 축으로 이송하는 검출수단이송스테이션(58); 및상기 테이블(52)과, 각 스테이션들을 X, Y, Z 축 및 회전 위치를 정렬하도록 정렬 제어를 발생하여, 상기 테이블(52)과 각 스테이션들을 구동시키는 제어부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 구동수단(50)은공압을 이용한 에어베어링 방식으로, 접촉식 구동방식에 의해 발생할 수 있는 위치정렬 오차를 최소화하여, 고 정밀한 위치정렬이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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제 1 항에 있어서, 상기 홀더(20)와 구동수단(50) 사이에는 방열수단(70)을 더 구성하여, 상기 홀더(20)의 일측에 마련된 냉각수단(40)에 의해 극저온 상태를 유지시 극저온이 상기 구동수단(50)으로 열 전달이 차단되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노급 엑스선 단층촬영장치
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