| 요약 |
본 발명은 다층박막 거울의 평가 장치에 관한 것으로, 정렬된 다층박막 거울들의 반사 빔을 카메라로 촬영하여 반사 빔 영상(image)과 반사 빔 프로파일(profile)을 표시하고, 다층박막 거울과 카메라 사이의 직선 거리와 반사 빔 영상의 촬영 위치를 근거로 다층박막 거울의 평균 두께 주기(periodic thickness) 및 다층박막을 구성하고 있는 층의 두께 주기 변화치를 계산하고 표시하거나, X-선 광원의 빔의 세기, 즉 빔 카운트(Beam count)와 정렬된 다층박막 거울의 반사 빔의 빔 카운트를 측정하여 다층박막 거울의 반사율을 계산하고 표시한다. 본 발명에 따른 다층박막 거울의 평가 장치는 구성이 간단하고 한 번의 정렬을 여러 개의 다층박막 거울에 적용할 수 있으며, 사용자가 여러 개의 다층박막 거울의 반사 빔 영상과 반사 빔 프로파일을 육안으로 확인하는 것만으로도 여러 개의 다층박막 거울의 정량 및 정성적인 평가를 비교적 쉽게 수행할 수 있으므로, 대량으로 생산되는 다층박막 거울의 평가 검사에 적용하여 대량으로 만들어진 다층박막 거울 중 비슷한 광학적 성질을 가진 것을 용이하게 골라낼 수 있고, 그 결과로 제작과 평가의 빠른 피드백으로 보다 정밀한 다층박막 거울 제작이 가능하다. 다층박막 거울, 평가, 두께 주기, 균일성, 반사율
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