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구동광이 입사되는 입사 도파로;상기 입사 도파로와 소정의 각도를 가지도록 배치되고, 상기 구동광이 출사되는 출사 도파로;상기 입사 도파로와 출사 도파로 사이에 배치되어, 상기 입사 도파로를 통해 일면으로 입사된 구동광에 의해 표면 플라즈몬 파(surface plasmon wave, SPW)를 발생시키는 금속 박막;상기 금속 박막의 타면에 배치되어 상기 발생된 표면 플라즈몬 파를 가이드하며, 외부에서 입사된 제어광에 의해 굴절률이 변화하는 활성층;상기 활성층의 일면 중 적어도 일부에 배치되되, 상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파가 외부로 방출되는 것이 방지되도록 배치되는 보호층;상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파를 검출하는 SPW 검출부; 및상기 출사 도파로를 통해 출사되는 구동광을 검출하는 구동광 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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제1항에 있어서,상기 입사 도파로와 출사 도파로는, 상기 활성층에 상기 제어광이 입사되지 않을 때, 상기 구동광의 입사에 의해 플라즈몬 공명 현상이 발생되는 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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3 |
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제1항에 있어서,상기 제어광은 상기 활성층의 밴드갭보다 큰 에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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4 |
4
제1항에 있어서,상기 활성층은 상기 입사 도파로와 출사 도파로의 밴드갭보다 큰 밴드갭을 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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5 |
5
제1항에 있어서,상기 활성층은 ZnSe 및 ZnO 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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6 |
6
제1항에 있어서,상기 금속 박막과 보호층은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 입사 도파로, 상기 출사 도파로, 상기 금속 박막, 상기 활성층 및 상기 보호층은 단일 웨이퍼에 집적되어 광집접화회로(photonic integrated circuit)로 제작되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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제1 구동광이 입사되는 제1 입사 도파로와, 상기 제1 입사 도파로와 소정의 각도를 가지도록 배치되고 상기 제1 구동광이 출사되는 제1 출사 도파로와, 상기 제1 입사 도파로와 제1 출사 도파로 사이에 배치되어 상기 제1 입사 도파로를 통해 일면으로 입사된 제1 구동광에 의해 제1 표면 플라즈몬 파(surface plasmon wave, SPW)를 발생시키는 제1 금속 박막과, 상기 제1 금속 박막의 타면에 배치되어 상기 발생된 제1 표면 플라즈몬 파를 가이드하며 외부에서 입사된 제1 제어광에 의해 굴절률이 변화하는 제1 활성층과, 상기 제1 활성층의 일면 중 적어도 일부에 배치되되 상기 제1 활성층을 통해 진행되는 제1 표면 플라즈몬 파가 외부로 방출되는 것이 방지되도록 배치되는 제1 보호층을 구비하는 제1 소자부;제2 구동광이 입사되는 제2 입사 도파로와, 상기 제2 입사 도파로와 소정의 각도를 가지도록 배치되고 상기 제2 구동광이 출사되는 제2 출사 도파로와, 상기 제2 입사 도파로와 제2 출사 도파로 사이에 배치되어 상기 제2 입사 도파로를 통해 일면으로 입사된 제2 구동광에 의해 제2 표면 플라즈몬 파를 발생시키는 제2 금속 박막과, 상기 제2 금속 박막의 타면에 배치되어 상기 발생된 제2 표면 플라즈몬 파를 가이드하며 외부에서 입사된 제2 제어광에 의해 굴절률이 변화하는 제2 활성층과, 상기 제2 활성층의 일면 중 적어도 일부에 배치되되 상기 제2 활성층을 통해 진행되는 제2 표면 플라즈몬 파가 외부로 방출되는 것이 방지되도록 배치되는 제2 보호층을 구비하는 제2 소자부;상기 제1 활성층을 통해 진행되는 제1 표면 플라즈몬 파와 상기 제2 활성층을 통해 진행되는 제2 표면 플라즈몬 파를 검출하는 SPW 검출부; 및상기 제1 출사 도파로를 통해 출사되는 제1 구동광과 상기 제2 출사 도파로를 통해 출사되는 제2 구동광을 검출하는 구동광 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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제8항에 있어서,상기 제1 입사 도파로와 제1 출사 도파로는, 상기 제1 활성층에 상기 제1 제어광이 입사되지 않을 때, 상기 제1 구동광의 입사에 의해 플라즈몬 공명 현상이 발생되는 각도로 배치되고,상기 제2 입사 도파로와 제2 출사 도파로는, 상기 제2 활성층에 상기 제2 제어광이 입사되지 않을 때, 상기 제2 구동광의 입사에 의해 플라즈몬 공명 현상이 발생되는 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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10
제8항에 있어서,상기 제1 제어광은 상기 제1 활성층의 밴드갭보다 큰 에너지를 갖고,상기 제2 제어광은 상기 제2 활성층의 밴드갭보다 큰 에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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11
제8항에 있어서,상기 제1 활성층은 상기 제1 입사 도파로와 제1 출사 도파로의 밴드갭보다 큰 밴드갭을 갖는 물질로 이루어지고,상기 제2 활성층은 상기 제2 입사 도파로와 제2 출사 도파로의 밴드갭보다 큰 밴드갭을 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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12
제8항에 있어서,상기 제1 활성층 및 제2 활성층은 ZnSe 및 ZnO 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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13
제8항에 있어서,상기 제1 금속 박막, 제1 보호층, 제2 금속 박막 및 제2 보호층은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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14
제8항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 소자부와 상기 제2 소자부는 단일 웨이퍼에 집적되어 광집접화회로(photonic integrated circuit)로 제작되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 전광 논리소자
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15
구동광이 입사되는 입사 도파로;상기 입사 도파로와 소정의 각도를 가지도록 배치되고, 상기 구동광이 출사되는 출사 도파로;상기 입사 도파로와 출사 도파로 사이에 배치되어, 상기 입사 도파로를 통해 일면으로 입사된 구동광에 의해 표면 플라즈몬 파(surface plasmon wave, SPW)를 발생시키는 금속 박막;상기 금속 박막의 타면에 배치되어 상기 발생된 표면 플라즈몬 파를 가이드하며, 외부에서 입사된 제어광에 의해 굴절률이 변화하는 활성층; 및상기 출사 도파로를 통해 출사되는 구동광을 검출하는 구동광 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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구동광이 입사되는 입사 도파로;상기 입사 도파로와 소정의 각도를 가지도록 배치되고, 상기 구동광이 출사되는 출사 도파로;상기 입사 도파로와 출사 도파로 사이에 배치되어, 상기 입사 도파로를 통해 일면으로 입사된 구동광에 의해 표면 플라즈몬 파(surface plasmon wave, SPW)를 발생시키는 금속 박막;상기 금속 박막의 타면에 배치되어 상기 발생된 표면 플라즈몬 파를 가이드하며, 외부에서 입사된 제어광에 의해 굴절률이 변화하는 활성층; 상기 활성층의 일면 중 적어도 일부에 배치되되, 상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파가 외부로 방출되는 것이 방지되도록 배치되는 보호층; 및상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파를 검출하는 SPW 검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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17
제15항에 있어서,상기 활성층의 일면 중 적어도 일부에 배치되되, 상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파가 외부로 방출되는 것이 방지되도록 배치되는 보호층; 및상기 활성층을 통해 진행되는 표면 플라즈몬 파를 검출하는 SPW 검출부;를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 입사 도파로와 출사 도파로는, 상기 활성층에 상기 제어광이 입사되지 않을 때, 상기 구동광의 입사에 의해 플라즈몬 공명 현상이 발생되는 각도로 배치되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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19
제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어광은 상기 활성층의 밴드갭보다 큰 에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 활성층은 상기 입사 도파로와 출사 도파로의 밴드갭보다 큰 밴드갭을 갖는 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,상기 활성층은 ZnSe 및 ZnO 중 적어도 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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22
제16항 또는 제17항에 있어서,상기 금속 박막과 보호층은 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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23
제16항 또는 제17항에 있어서,상기 입사 도파로, 상기 출사 도파로, 상기 금속 박막, 상기 활성층 및 상기 보호층은 단일 웨이퍼에 집적되어 광집접화회로(photonic integrated circuit)로 제작되는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 현상을 이용한 광변조기
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