| 1 |
1
압전 에너지 하베스터에 있어서,
탄성체 역할을 하는 기판;
전기적인 에너지 인출을 위하여 상기 기판에 증착되는 제1 전극;
상기 제1 전극에 증착되며 기계적인 에너지를 상기 전기적인 에너지로 변환하되, 나선형 구조를 포함하여 외부진동원과 공진 가능한 고유진동수를 갖는 압전소자; 및
상기 전기적인 에너지 인출을 위하여 상기 압전소자에 증착되는 제2 전극을 포함하는 압전 에너지 하베스터
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 고유진동수 조절을 위한 표준질량을 더 포함하는,
압전 에너지 하베스터
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,
상기 표준질량은,
상기 압전소자의 끝단에 부착되는 것을 특징으로 하는,
압전 에너지 하베스터
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,
상기 압전소자는,
상기 제1 및 제2 전극과 수직 방향으로 분극된 것을 특징으로 하는,
압전 에너지 하베스터
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,
상기 압전소자는,
원형 또는 다각형 중 어느 한 형태의 나선 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 압전 에너지 하베스터
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,
상기 기판은 스프링강, 구리, 황동, 청동, 글래스 파이버 강화 플라스틱(FRP) 중 어느 하나인, 압전 에너지 하베스터
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,
상기 기판은 실리콘 웨이퍼 또는 질화 규소가 더 증착된 실리콘 웨이퍼 중 어느 하나를 포함하고,
상기 압전소자는 상기 기판에 후막 또는 박막 형태로 증착되며,
상기 제1, 2 전극은 은(Ag) 및 백금(Pt)을 포함하는, 압전 에너지 하베스터
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,
상기 압전 에너지 하베스터는,
MEMS(Microelectromechanical Systems) 공정을 이용하여 나선형 스프링 구조체로 제작되는 것을 특징으로 하는, 압전 에너지 하베스터
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,
상기 압전 에너지 하베스터는,
전단 응력이 작용하는 비틀림 모드의 압전 상수를 사용하는 것을 특징으로 하는, 압전 에너지 하베스터
|
