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집전체와,
상기 집전체의 적어도 일면에, 나노그레인(nano-grain) 또는 나노입자(nano particle)를 포함하여 이루어진 나노섬유(nano-fiber)들이 네트워크 구조를 갖는 산화루테늄(RuO2) 막층, 및
상기 산화루테늄(RuO2) 막층 표면에, 비정질 산화루테늄(RuO2)의 코팅층
이 포함되어 이루어진 것임을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극
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집전체에, Ru 전구체와 고분자를 혼합한 용액을 방사하여 Ru 전구체-고분자 복합섬유를 제조하는 1단계;
상기 Ru 전구체-고분자 복합섬유를 열 압착 또는 열 가압하는 2단계;
상기 열 압착 또는 열 가압된 복합 섬유를 열처리하여, 복합 섬유에서 고분자를 제거된 네트워크 구조의 다공성 산화루테늄(RuO2) 막을 제조하는 3단계; 및
상기 다공성 산화루테늄(RuO2) 막 표면에 비정질의 산화루테늄(RuO2)을 코팅하는 4단계
를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 도체금속 전구체는 Ru의 염화물인 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 고분자는 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA), 폴리비닐피롤리돈(PVP), 폴리비닐아세테이트(PVAc), 폴리비닐알콜(PVA), 폴리스티렌(PS) 중 선택된 1종의 단일화합물 또는 2종 이상의 혼합물을 사용하는 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 1단계 방사는 전기방사(electro-spinning), 멜트블로운(melt-blown), 플레쉬방사(flash spinning) 및 정전멜트블로운법(electrostatic melt-blown) 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 2단계 상기 열압착 및 열가압은 사용된 고분자의 유리전이온도 이상의 온도에서 압력을 가하여 수행되는 것을 특징으로 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 고분자는 폴리비닐아세테이트이고, 120 ℃의 온도에서, 0
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제 6 항에 있어서, 상기 1단계 용액은 물, 에탄올, 테트라하이드로퓨란(THF), 디메틸포름아마이드(DMF), 디메틸아세트아마이드(DMAc), 및 톨루엔 중에서 선택된 용매에 용해시켜 제조된 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 3단계 열처리는 400 ∼ 800 ℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 4단계 코팅은 순환전위전류법 또는 일정 전류법을 사용하여 산화루테늄(RuO2)을 코팅하는 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 4단계 코팅은 50 ∼ 200 ℃의 온도에서 열처리되는 것을 특징으로 하는 다공성 도체금속산화물 전극의 제조방법
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청구항 2의 다공성 도체금속산화물 전극을 이용한 수퍼캐패시터 소자
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