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복수 개의 단위 감지센서;
상기 단위 감지센서들 각각의 제1 폴링전극을 공통으로 연결하는 제1 폴링라인; 및
상기 단위 감지센서들 각각의 제2 폴링전극을 공통으로 연결하는 제2 폴링라인을 포함하고,
상기 단위 감지센서들 각각은,
적외선 반사층;
적외선 흡수층;
상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극과 연결된 상기 제1 폴링전극; 및
상기 적외선 반사층의 하부전극과 상기 적외선 흡수층의 하부전극과 연결된 상기 제2 폴링전극
을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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제 2 항에 있어서,
상기 적외선 반사층은,
하부전극;
상기 하부전극 상에 형성된 강유전체층; 및
상기 강유전체층 상에 형성된 상부전극
을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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4
제 2 항에 있어서,
상기 적외선 흡수층은,
하부전극;
상기 하부전극 상에 형성된 강유전체층; 및
상기 강유전체층 상에 형성된 상부전극
을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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5
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 하부전극은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 로듐(Rh) 또는 오스뮴(Os)으로 이루어진 귀금속 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하거나, 상기 귀금속 그룹에서 선택된 어느 하나와 구리(Cu) 또는 아연(Zn)이 합금된 합금막 중 선택된 어느 하나를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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6
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 강유전체층은 PZT[Pb(Zr,Ti)O3], 상기 PZT에 란탄(La)이 도핑된 PLZT, LiTaO3 또는 (Sr,Ba)Nb2O6으로 이루어진 강유전체 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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7
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 상부전극은 금(Au) 상에 다공질의 금(Au) 블랙(black), 탄소(C) 블랙 또는 백금(Pt) 블랙과 같은 블랙 물질이 코팅된 적층구조를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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8
제 2 항에 있어서,
상기 적외선 반사층의 하부전극과 상기 적외선 흡수층의 하부전극은 동일 계층에 형성된 하부배선을 통해 서로 연결된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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9
제 2 항에 있어서,
상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극은 동일 계층에 형성된 상부배선을 통해 서로 연결된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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제 2 항에 있어서,
상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극은 서로 분리된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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11
제 2 항에 있어서,
상기 단위 감지센서들 각각은,
상기 적외선 반사층의 상부전극과 연결된 제1 전극; 및
상기 적외선 흡수층의 상부전극과 연결된 제2 전극
을 더 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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제 11 항에 있어서,
상기 제2 전극은 상기 제1 폴링전극과 연결된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조
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삭제
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복수 개의 단위 감지센서와, 상기 단위 감지센서들 각각의 제1 폴링전극을 공통으로 연결하는 제1 폴링라인과, 상기 단위 감지센서들 각각의 제2 폴링전극을 공통으로 연결하는 제2 폴링라인을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이를 형성하는 단계; 및
상기 제1 및 제2 폴링라인을 이용하여 동시에 상기 단위 감지센서들에 대해 폴링공정을 수행하는 단계를 포함하고,
상기 단위 감지센서들 각각은,
적외선 반사층;
적외선 흡수층;
상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극과 연결된 상기 제1 폴링전극; 및
상기 적외선 반사층의 하부전극과 상기 적외선 흡수층의 하부전극과 연결된 상기 제2 폴링전극을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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15
제 14 항에 있어서,
상기 적외선 반사층은,
하부전극;
상기 하부전극 상에 형성된 강유전체층; 및
상기 강유전체층 상에 형성된 상부전극
을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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16
제 14 항에 있어서,
상기 적외선 흡수층은,
하부전극;
상기 하부전극 상에 형성된 강유전체층; 및
상기 강유전체층 상에 형성된 상부전극
을 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
상기 하부전극은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 로듐(Rh) 또는 오스뮴(Os)으로 이루어진 귀금속 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하거나, 상기 귀금속 그룹에서 선택된 어느 하나와 구리(Cu) 또는 아연(Zn)이 합금된 합금막 중 선택된 어느 하나를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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18
제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
상기 강유전체층은 PZT[Pb(Zr,Ti)O3], 상기 PZT에 란탄(La)이 도핑된 PLZT, LiTaO3 또는 (Sr,Ba)Nb2O6으로 이루어진 강유전체 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 15 항 또는 제 16 항에 있어서,
상기 상부전극은 금(Au) 상에 다공질의 금(Au) 블랙(black), 탄소(C) 블랙 또는 백금(Pt) 블랙과 같은 블랙 물질이 코팅된 적층구조를 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 14 항에 있어서,
상기 적외선 반사층의 하부전극과 상기 적외선 흡수층의 하부전극은 동일 계층에 형성된 하부배선을 통해 서로 연결된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 14 항에 있어서,
상기 단위 감지센서들에 대해 폴링공정을 수행하는 단계에서는 상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극이 동일 계층에 형성된 상부배선을 통해 서로 연결된 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 14 항에 있어서,
상기 단위 감지센서들에 대해 폴링공정을 수행하는 단계 후, 상기 제1 및 제2 폴링라인을 절단하여 상기 단위 감지센서들의 제1 및 제2 폴링전극들을 서로 분리시키는 다이싱 공정을 수행하는 단계를 더 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 22 항에 있어서,
상기 다이싱 공정을 수행하는 단계 후, 상기 적외선 반사층의 상부전극과 상기 적외선 흡수층의 상부전극은 서로 분리되는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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제 14 항에 있어서,
상기 단위 감지센서들 각각은,
상기 적외선 반사층의 상부전극과 연결된 제1 전극; 및
상기 적외선 흡수층의 상부전극과 연결된 제2 전극
을 더 포함하는 초전 적외선 감지센서의 어레이 구조의 제조방법
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