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내부에 수용공간을 제공하는 진공 챔버;상기 수용공간에 수용되며 냉매를 공급하는 냉매 저장통;상기 진공 챔버 내부로 냉매를 단속하되, 상기 진공 챔버의 외부에 위치하여 상기 냉매의 상변화에 따른 기화 압력의 변화에 의하여 개폐되는 제어밸브; 및냉각기;를 포함하며, 상기 냉각기는 상기 수용공간 내부에 수용되고 상기 냉매 저장통과 연결되어 냉매를 공급받는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 1항에 있어서,상기 냉각기는 배플을 더 포함하며, 상기 배플은 원기둥 모양으로 형성되며 그 원주면을 따라 “V”자 모양으로 일정 각도로 꺾인 금속판이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 3항에 있어서,상기 배플은 120도 꺾이어서 형성된 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 1항에 있어서,상기 냉매 저장통은그 상측에 부착된 제1 온도센서; 및상기 냉매 저장통의 하측에 부착된 제2 온도센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 5항에 있어서,상기 제1 온도센서 및 제2 온도센서는 열전대인 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 3항에 있어서,상기 배플에는 상기 배플의 온도를 감지할 수 있는 온도센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 7항에 있어서,상기 온도센서는 열전대인 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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진공 챔버;상기 진공 챔버에 수용된 냉각기;상기 냉각기 외측에 구비된 배플;상기 냉각기와 연결되며, 상기 진공 챔버내에 수용되는 냉매 저장통; 및상기 냉매 저장통과 상기 배플 또는 상기 진공 챔버와 상기 냉매 저장통 사이에 하나 이상 설치되며, 상기 진공 챔버의 외부로 연장 설치된 제어밸브;를 포함하여 상기 제어밸브가 상기 냉매의 상변화에 따른 기화 압력의 변화에 의하여 개폐되는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 9항에 있어서,상기 배플은 원기둥 모양으로 형성되며 그 원주면을 따라 “V”자 모양으로 일정 각도로 꺾인 금속판이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 9항에 있어서,상기 냉매 저장통은그 상측에 부착된 제1 온도센서; 및상기 냉매 저장통의 하측에 부착된 제2 온도센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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제 9항에 있어서,상기 배플에는 상기 배플의 온도를 감지할 수 있는 온도센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템
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진공 챔버 내부에 수용되어 냉매를 공급하는 냉매 저장통의 상하측에 각각 부착된 제1 온도센서 및 제2 온도센서의 값을 읽는 단계;상기 제1 온도센서의 값이 기설정된 온도값보다 작으면, 상기 진공 챔버의 외부에 위치한 제어밸브를 폐쇄하여 상기 냉매 저장통으로 냉매의 공급을 중단시키는 단계; 및상기 제2 온도센서의 값이 기설정된 온도값보다 크면, 상기 제어밸브를 개방하여 상기 냉매 저장통으로 냉매를 공급하는 단계;를 포함하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 13항에 있어서,상기 제1 온도센서 및 제2 온도센서는 열전대인 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 13항에 있어서,상기 제어밸브의 개폐는 릴레이를 이용하여 전류의 공급을 단속하면서 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 13항에 있어서,상기 진공 챔버의 내부에는 배플 온도센서가 부착된 배플이 구비되며, 상기 배플의 온도를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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진공 챔버 내부에 수용되어 상기 진공 챔버의 벽면에서 투사되는 적외선을 차단하는 배플에 부착된 배플 온도센서의 값을 읽는 단계;상기 배플 온도센서의 값이 설정온도보다 크면, 상기 진공 챔버의 내부로 냉매를 공급시키는 단계; 및상기 배플 온도센서의 값이 설정온도보다 작으면, 상기 진공 챔버의 내부로 냉매의 공급을 차단시키는 단계;를 포함하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 17항에 있어서,상기 설정온도는 -185도 인 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 17항에 있어서,냉매를 공급하는 단계 및 냉매를 차단시키는 단계는 상기 배플에 연결된 공급 밸브 및 토출 밸브의 개폐를 통해서 이루어지며, 릴레이를 이용하여 전류의 공급을 단속하면서 상기 공급 밸브 및 상기 토출 밸브를 개폐하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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제 17항에 있어서,상기 배플 온도센서는 열전대인 것을 특징으로 하는 극저온 펌프 시스템의 제어 방법
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