| 요약 |
본 발명은 초음파 진동을 이용한 마이크로 복합 가공기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연삭숫돌(34)이 축설된 에어 스핀들(3)과, 트루잉장치(5)가 설치되며, 하부에는 초음파 진동 테이블(Ultrasonic Vibration Table)(10)이 장착되어 구성된 연삭가공부(2)와; 상기 에어 스핀들(3)을 제어하는 스핀들 제어부(40)와, 상기 초음파 진동 테이블(10)에 전원을 공급하는 초음파 발전부(42), 상기 트루잉장치(5)에 전원을 공급하는 이엘아이디 엠프(44), 연삭가공시 가공점에 절삭유를 미스트(mist) 형태로 공급하기 위한 미스트 탱크(47)와 콤프레셔(48), 쿨런트탱크(46) 및 콘트롤러(43)로 구성된 주변장치부(4)와: 사용자가 직접 가공작업 데이터를 입력시켜 상기 연삭가공부(2) 및 상기 주변장치부(4)의 동작을 제어할 수 있게 한 PC제어부(6)를 포함하는 것으로, 직경 30 ㎛ 이하의 다양한 형상(원형,타원형,사각형,직사각형,모딴 사각형 등)의 마이크로 공구의 정밀제작이 가능하며, 또한 제작된 마이크로 공구를 곧바로 에어 스핀들의 주축에 장착시킨 후 피가공물에 대한 드릴링이나 패턴가공이 이루어질 수 있어 공구의 회전정밀도가 향상됨은 물론 오차발생이 거의 없어 편심량이 배제되므로 피가공물에 대한 드릴링이나 패턴가공작업시 공구의 파괴현상이 현저히 감소될 수 있게 한 것이다. 연삭, 에어 스핀들, 트루잉, 드레싱, 숫돌, 초음파 진동 테이블, 미스트, 쿨런트
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