맞춤기술찾기

이전대상기술

웨이퍼 이송용 로봇암

  • 기술번호 : KST2014028809
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇암에 관한 것으로, 그 구성은 로봇암 일측 단부에서 연장되게 구비되어 웨이퍼가 안치될 수 있게 하는 안치대; 상기 안치대 일측 상부에 구비되며 일측이 웨이퍼 외주와 동일한 형태로 곡선진 블록; 상기 블록의 곡선진 위치에 구비되어 상기 웨이퍼를 지지한 상태로 안치대에 웨이퍼를 정렬되게 하는 안내수단;을 포함하여 이루어진다. 웨이퍼, 로봇암, 로봇, 얼라인, 정렬
Int. CL B25J 15/08 (2006.01) B65G 49/07 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01)
출원번호/일자 1020090033141 (2009.04.16)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1082604-0000 (2011.11.04)
공개번호/일자 10-2010-0114657 (2010.10.26) 문서열기
공고번호/일자 (20111110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110074679;
심사청구여부/일자 Y (2009.04.16)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 유지환 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 칼리스 토토쿠로브 러시아 충남 천안시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김희곤 대한민국 대전시 유성구 문지로 ***-*(문지동) *동(웰쳐국제특허법률사무소)
2 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)
3 박용순 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **, **층 D-****호(문정동)(주심국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0229916-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.01.31 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.02.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0008689-38
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2011-5038188-46
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0150301-86
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0362525-10
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0362524-75
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0301678-70
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2011.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0581574-73
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0581550-88
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0581548-96
12 등록결정서
Decision to grant
2011.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0574000-71
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
로봇암 일측 단부에서 연장되게 구비되어 웨이퍼가 안치될 수 있게 하는 안치대; 상기 안치대 일측 상부에 구비되며, 일측면이 웨이퍼 외주와 동일한 형태로 곡선진 블록; 상기 블록의 곡선진 위치에 구비되어 상기 웨이퍼를 지지한 상태로 안치대에 웨이퍼를 정렬되게 하는 안내수단;을 포함하고, 상기 안내수단은 핀축을 기준으로 회전하는 몸체 외주에 다수개의 임펠러가 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 임펠러 끝단은 안치대의 안착부 방향으로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇암
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101082605 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.