| 요약 |
본 발명은 볼록 자극 편향기를 이용하여 비대칭 분포 이온빔을 조사하는 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이온빔을 굴절시키는 편향 전자석의 대향하는 두 자극 면이 서로를 향해 볼록하게 돌출되도록 구성하여 표적에 조사되는 이온빔의 밀도 분포를 비대칭 분포가 되게 하고, 편향 전자석에 교류 전류를 인가하여 비대칭 밀도 분포를 이루는 이온빔을 전류 변화에 따라 주기적으로 변경되는 각도로 굴절시키면서 조사 영역의 경계가 명확하게 표적에 조사함으로써, 이온빔이 저밀도로 조사되는 영역을 줄여 효율적으로 이온빔을 조사할 수 있는 비대칭 분포 이온빔 조사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 볼록 자극 편향기를 이용한 비대칭 분포 이온빔 조사 장치는, 이온원이나 가속기에서 생성되는 이온빔을 편향 전자석을 이용하여 주기적으로 굴절시켜 표적에 조사하는 이온빔 조사 장치에 있어서, 상기 편향 전자석은, 대향하는 두 자극 면이 서로를 향해 볼록하게 돌출되어, 상기 자극 사이를 통과하여 표적에 조사되는 이온빔의 밀도 분포를 비대칭 분포가 되게 하는 점을 특징으로 한다.본 발명에 따른 볼록 자극 편향기를 이용한 비대칭 분포 이온빔 조사 장치 및 그 방법은 표적 상에서 조사 영역의 경계가 명확하게 이온빔을 조사함으로써, 조사량의 조절이 용이하고 이온빔을 효율적으로 사용할 수 있는 효과가 있다.이온빔, 조사, 비대칭 분포, 볼록 자극 편향기, 가속기
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