| 1 |
1
제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 형성된 유전체층; 및
상기 유전체층 상에 형성되는 제2 금속층을 포함하되,
상기 제1 금속층의 길이와 상기 제2 금속층의 길이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 제1 금속층 또는 제2 금속층은 귀금속 또는 천이금속 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,
상기 유전체층은 실리콘(Si), 석영(SiO2) 또는 폴리머(Polymer) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,
상기 제2 금속층은,
평면적으로 신호 입력부의 폭보다 신호 출력부의 폭이 큰 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,
상기 제2 금속층의 평면 모양은 테이퍼진 삼각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,
상기 제1 금속층은,
평면적으로 상기 제2 금속층과 닮은 꼴 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 7 |
7
제4항에 있어서,
상기 제1 금속층은,
평면적으로 직사각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,
상기 제1 금속층의 길이가 상기 제2 금속층의 길이보다 짧은 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자
|
| 9 |
9
나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈에 있어서,
광 도파로로부터 입력받은 광 신호를 집속하고, 이를 표면 플라즈모닉 폴라리톤 신호로 변환하고 이를 수 내지 수십 마이크론 크기로 집속하는 표면 플라즈모닉 집광 소자;
상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하는 이중 도파로 소자; 및
상기 이중 도파로 소자를 통하여 전송된 신호를 표면 플라즈모닉 폴라리톤 신호로 탈집속하고 이를 광 신호로 변환하여 출력하는 표면 플라즈모닉 탈집광 소자를 포함하되,
상기 표면 플라즈몬 폴라리톤 집광 소자와 상기 표면 플라즈모닉 탈집광 소자는,
제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 형성된 유전체층; 및
상기 유전체층 상에 형성되는 제2 금속층을 포함하되,
상부 제1 금속층의 길이와 상기 제2 금속층의 길이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,
상기 제1 금속층 또는 제2 금속층은 귀금속 또는 천이금속 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,
상기 유전체층은 실리콘(Si), 석영(SiO2), 폴리머(Polymer) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 12 |
12
제9항에 있어서,
상기 제2 금속층은,
평면적으로 신호 입력부의 폭보다 신호 출력부의 폭이 큰 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,
상기 제2 금속층의 평면 모양은 테이퍼진 삼각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,
상기 제1 금속층은,
평면적으로 상기 제2 금속층과 닮은 꼴 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 15 |
15
제9항에 있어서,
상기 제1 금속층은,
평면적으로 직사각형 모양을 가지는 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
| 16 |
16
제9항에 있어서,
상기 제1 금속층의 길이가 상기 제2 금속층의 길이보다 짧은 것을 특징으로 하는 나노 플라즈모닉 집적 회로 모듈
|
