요약 | 본 발명은 제1 금속층과 제2 금속층간의 이격된 공간에 유전체층이 배치된 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자(100)에 관한 것으로서, 내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단; 상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및 상기 중간단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 상기 중간단의 제2 금속층이 연장형성된 제2 금속층 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 MIM형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자는 입력단으로입력된 광신호가 광의 회절한계를 극복하여 나노 크기의 작은 모드로 변환가능한 효과가 있다. |
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Int. CL | G02B 6/12 (2006.01) |
CPC | G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100004583 (2010.01.19) |
출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1079427-0000 (2011.10.27) |
공개번호/일자 | 10-2011-0085025 (2011.07.27) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20111102) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.01.19) |
심사청구항수 | 38 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 이명현 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김인철 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동) |
2 | 특허법인세하 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
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1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.01.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0033643-37 |
2 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2010.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0360275-19 |
3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.05.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0285191-71 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0410892-11 |
5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.06.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0410891-76 |
6 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.10.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0616470-80 |
7 | [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2011.11.11 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2011-0890726-86 |
8 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2011.11.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0105440-15 |
9 | [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0950516-91 |
10 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2011.12.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0117891-18 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 제1 금속층과 제2 금속층간의 이격된 공간에 유전체층이 배치된 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자에 있어서,내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단;상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및상기 중간단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 상기 중간단의 제2 금속층이 연장형성된 제2 금속층 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 MIM형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 입력단, 중간단 및 출력단을 형성하는 제1 금속층은 일체로 형성되며, 상기 제1 금속층의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
3 |
3 제2항에 있어서,상기 제1 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단에서 중간단을 거쳐 출력단으로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
4 |
4 제1항에 있어서,상기 중간단 및 출력단을 형성하는 제2 금속층은 일체로 형성되며, 제2 금속층의 중간단 및 출력단의 평면 형상은 각각 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
5 |
5 제4항에 있어서,상기 제2 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 중간단쪽에서 출력단쪽으로 갈수록 좁아지는 구조 또는 그 역의 구조인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
6 |
6 제1항에 있어서,상기 입력단의 경우, 길이는 1㎝ 내지 100㎛이고, 폭은 10㎛ 내지 1㎛이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
7 |
7 제1항에 있어서,상기 중간단의 경우, 길이는 1㎜ 내지 1㎛이고, 폭은 5㎛ 내지 100㎚이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
8 |
8 제1항에 있어서,상기 출력단의 경우, 길이는 100㎛ 내지 10㎚이고, 폭은 1㎛ 내지 1㎚이고, 두께는 1㎛ 내지 1㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
9 |
9 제1항에 있어서,상기 중간단의 제1 금속층과 제2 금속층간의 중간단 이격거리는 상기 출력단의 제1 금속층과 제2 금속층간의 출력단 이격거리보다 긴 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
10 |
10 제9항에 있어서,상기 중간단 이격거리는 5㎛ 내지 100㎚ 이고, 상기 출력단 이격거리는 1㎛ 내지 1㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
11 |
11 제1항에 있어서,상기 입력단에서는 입력된 광신호가 IMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
12 |
12 제7항에 있어서,상기 입력단에서는 IMI형 LR-SPP 모드의 크기가 1㎛ 내지 100㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
13 |
13 제1항에 있어서,상기 중간단에서는 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드가 IMIMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
14 |
14 제9항에 있어서,상기 중간단에서는 IMIMI형 LR-SPP 모드의 크기가 5㎛ 내지 50㎚ 인 것을 특징으로하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
15 |
15 제1항에 있어서,상기 출력단에서는 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드가 MIM형 SR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
16 |
16 제11항에 있어서,상기 출력단에서는 MIM형 SR-SPP 모드의 크기가 100㎚ 내지 1㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
17 |
17 제1항에 있어서,상기 제1 금속층 및 제2 금속층은 귀금속(noble metal) 및 천이금속(transition metal)으로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 또는 둘 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
18 |
18 제1항에 있어서,상기 각 유전체층은 규소(Si), 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4) 및 폴리머(Polymer)로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
19 |
19 나노 플라즈몬 집적회로 모듈에 있어서,광 도파로를 통해 입력받은 광 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 변환시키고, 더 작은 크기로 집속하는 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 따른 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자;상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하는 단일 또는 이중 도파로 소자; 및 상기 단일 또는 이중 도파로 소자를 통하여 전송된 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 탈집속하여 광신호로 변환시켜 출력하는 표면 플라즈몬 나노 탈집광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는나노 플라즈몬 집적회로 모듈 |
20 |
20 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자에 있어서,내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단;상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및상기 중간단의 단부에서 제1 금속층과 제2 금속층의 사이에 해당되는 높이로, 중간단의 내부와 연통가능하게 배치되는 제3 금속층으로 형성된 M형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
21 |
21 제20항에 있어서, 상기 입력단 및 중간단을 형성하는 제1 금속층은 일체로 형성되며, 상기 제1 금속층의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
22 |
22 제21항에 있어서,상기 제1 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단에서 중간단으로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
23 |
23 제20항에 있어서, 상기 제2 금속층의 중간단의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
24 |
24 제23항에 있어서,상기 제2 금속층의 중간단의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단 쪽에서 출력단 쪽으로 갈수록 좁아지는 구조 또는 그 역의 구조인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
25 |
25 제20항에 있어서, 상기 제3 금속층의 출력단의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
26 |
26 제25항에 있어서,상기 제3 금속층의 출력단의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 중간단 쪽에서 출력단의 단부로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
27 |
27 제20항에 있어서,상기 입력단의 경우, 길이는 1㎝ 내지 100㎛이고, 폭은 10㎛ 내지 1㎛이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
28 |
28 제20항에 있어서,상기 중간단의 경우, 길이는 1㎜ 내지 1㎛이고, 폭은 5㎛ 내지 100㎚이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
29 |
29 제20항에 있어서,상기 출력단의 경우, 길이는 100㎛ 내지 10㎚이고, 폭은 1㎛ 내지 1㎚이고, 두께는 1㎛ 내지 20㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
30 |
30 제20항에 있어서,상기 입력단에서는 입력된 광신호가 IMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
31 |
31 제30항에 있어서,상기 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드의 크기는 1㎛ 내지 100㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
32 |
32 제20항에 있어서,상기 중간단에서는 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드가 IMIMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
33 |
33 제32항에 있어서,상기 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드의 크기는 5㎛ 내지 50㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
34 |
34 제20항에 있어서,상기 출력단에서는 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드가 M형 비대칭 SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
35 |
35 제27항에 있어서,상기 출력단의 M형 비대칭 SPP 모드의 크기는 100㎚ 내지 10㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
36 |
36 제20항에 있어서,상기 제1 금속층 및 제2 금속층은 귀금속(noble metal) 및 천이금속(transition metal)으로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 또는 둘 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
37 |
37 제20항에 있어서,상기 각 유전체층은 규소(Si), 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4) 및 폴리머(Polymer)로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 |
38 |
38 나노 플라즈몬 집적회로 모듈에 있어서,광 도파로를 통해 입력받은 광 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 변환시키고, 더 작은 크기로 집속하는 제20항 내지 제37항 중 어느 한 항에 따른 표면 플라즈몬 집광소자;상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하는 단일 또는 이중 도파로 소자; 및 상기 단일 또는 이중 도파로 소자를 통하여 전송된 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 탈집속하여 광신호로 변환시켜 출력하는 표면 플라즈몬 나노 탈집광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는나노 플라즈몬 집적회로 모듈 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
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1 | 지식경제부 | 성균관대학교 산학협력단 | 지식경제기술혁신사업-IT 원천기술개발사업 | 나노 플라즈모닉 집적회로(NPIC) |
특허 등록번호 | 10-1079427-0000 |
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표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20100119 출원 번호 : 1020100004583 공고 연월일 : 20111102 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20111025 청구범위의 항수 : 38 유별 : G02B 6/12 발명의 명칭 : 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자 및 이를 이용한 나노 플라즈몬 집적회로 모듈 존속기간(예정)만료일 : 20161028 |
순위번호 | 사항 |
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1 |
(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 763,500 원 | 2011년 10월 27일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 613,200 원 | 2014년 09월 23일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 613,200 원 | 2015년 10월 26일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.01.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0033643-37 |
2 | [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.06.04 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0360275-19 |
3 | 의견제출통지서 | 2011.05.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0285191-71 |
4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.06.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0410892-11 |
5 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.06.01 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0410891-76 |
6 | 등록결정서 | 2011.10.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0616470-80 |
7 | [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2011.11.11 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2011-0890726-86 |
8 | 서류반려이유통지서 | 2011.11.11 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0105440-15 |
9 | [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2011.11.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0950516-91 |
10 | 서류반려통지서 | 2011.12.15 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0117891-18 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
기술번호 | KST2014028992 |
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자료제공기관 | NTB |
기술공급기관 | 성균관대학교 |
기술명 | 표면 플라즈몬 플라리톤 도파로 나노 집광소자 및 이를 이용한 나노 플라즈몬 집적회로 모듈 |
기술개요 |
본 발명은 제1 금속층과 제2 금속층간의 이격된 공간에 유전체층이 배치된 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자(100)에 관한 것으로서, 내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단; 상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및 상기 중간단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 상기 중간단의 제2 금속층이 연장형성된 제2 금속층 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 MIM형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자는 입력단으로입력된 광신호가 광의 회절한계를 극복하여 나노 크기의 작은 모드로 변환가능한 효과가 있다. |
개발상태 | 기술개발진행중 |
기술의 우수성 | |
응용분야 | 나노 집광소자 개발 및 플라즈몬 집적회로 구성 |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1415115803 |
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세부과제번호 | KI001804 |
연구과제명 | 나노 플라즈모닉 집적회로 (NPIC) |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 성균관대학교산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200803~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1415107351 |
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세부과제번호 | KI001804 |
연구과제명 | 나노 플라즈모닉 집적회로 (NPIC) |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | SECRET PROJECT |
연구주관기관명 | SECRET PROJECT |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200803~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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