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표면 플라즈몬 플라리톤 도파로 나노 집광소자 및 이를 이용한 나노 플라즈몬 집적회로 모듈

  • 기술번호 : KST2014028992
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제1 금속층과 제2 금속층간의 이격된 공간에 유전체층이 배치된 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자(100)에 관한 것으로서, 내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단; 상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및 상기 중간단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 상기 중간단의 제2 금속층이 연장형성된 제2 금속층 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 MIM형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자는 입력단으로입력된 광신호가 광의 회절한계를 극복하여 나노 크기의 작은 모드로 변환가능한 효과가 있다.
Int. CL G02B 6/12 (2006.01)
CPC G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01) G02B 6/124(2013.01)
출원번호/일자 1020100004583 (2010.01.19)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1079427-0000 (2011.10.27)
공개번호/일자 10-2011-0085025 (2011.07.27) 문서열기
공고번호/일자 (20111102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.19)
심사청구항수 38

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이명현 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동)
2 특허법인세하 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0033643-37
2 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0360275-19
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0285191-71
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0410892-11
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0410891-76
6 등록결정서
Decision to grant
2011.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0616470-80
7 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.11.11 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2011-0890726-86
8 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2011.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0105440-15
9 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2011.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0950516-91
10 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0117891-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 금속층과 제2 금속층간의 이격된 공간에 유전체층이 배치된 표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자에 있어서,내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단;상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및상기 중간단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 상기 중간단의 제2 금속층이 연장형성된 제2 금속층 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 MIM형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
2 2
제1항에 있어서, 상기 입력단, 중간단 및 출력단을 형성하는 제1 금속층은 일체로 형성되며, 상기 제1 금속층의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단에서 중간단을 거쳐 출력단으로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
4 4
제1항에 있어서,상기 중간단 및 출력단을 형성하는 제2 금속층은 일체로 형성되며, 제2 금속층의 중간단 및 출력단의 평면 형상은 각각 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
5 5
제4항에 있어서,상기 제2 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 중간단쪽에서 출력단쪽으로 갈수록 좁아지는 구조 또는 그 역의 구조인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
6 6
제1항에 있어서,상기 입력단의 경우, 길이는 1㎝ 내지 100㎛이고, 폭은 10㎛ 내지 1㎛이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
7 7
제1항에 있어서,상기 중간단의 경우, 길이는 1㎜ 내지 1㎛이고, 폭은 5㎛ 내지 100㎚이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
8 8
제1항에 있어서,상기 출력단의 경우, 길이는 100㎛ 내지 10㎚이고, 폭은 1㎛ 내지 1㎚이고, 두께는 1㎛ 내지 1㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
9 9
제1항에 있어서,상기 중간단의 제1 금속층과 제2 금속층간의 중간단 이격거리는 상기 출력단의 제1 금속층과 제2 금속층간의 출력단 이격거리보다 긴 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
10 10
제9항에 있어서,상기 중간단 이격거리는 5㎛ 내지 100㎚ 이고, 상기 출력단 이격거리는 1㎛ 내지 1㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
11 11
제1항에 있어서,상기 입력단에서는 입력된 광신호가 IMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
12 12
제7항에 있어서,상기 입력단에서는 IMI형 LR-SPP 모드의 크기가 1㎛ 내지 100㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
13 13
제1항에 있어서,상기 중간단에서는 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드가 IMIMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
14 14
제9항에 있어서,상기 중간단에서는 IMIMI형 LR-SPP 모드의 크기가 5㎛ 내지 50㎚ 인 것을 특징으로하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
15 15
제1항에 있어서,상기 출력단에서는 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드가 MIM형 SR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
16 16
제11항에 있어서,상기 출력단에서는 MIM형 SR-SPP 모드의 크기가 100㎚ 내지 1㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
17 17
제1항에 있어서,상기 제1 금속층 및 제2 금속층은 귀금속(noble metal) 및 천이금속(transition metal)으로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 또는 둘 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
18 18
제1항에 있어서,상기 각 유전체층은 규소(Si), 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4) 및 폴리머(Polymer)로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
19 19
나노 플라즈몬 집적회로 모듈에 있어서,광 도파로를 통해 입력받은 광 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 변환시키고, 더 작은 크기로 집속하는 제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 따른 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자;상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하는 단일 또는 이중 도파로 소자; 및 상기 단일 또는 이중 도파로 소자를 통하여 전송된 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 탈집속하여 광신호로 변환시켜 출력하는 표면 플라즈몬 나노 탈집광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는나노 플라즈몬 집적회로 모듈
20 20
표면플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자에 있어서,내측 및 외측에 유전체층이 형성된 제1 금속층이 구비된 IMI형 구조를 갖는 입력단;상기 입력단의 제1 금속층이 연장형성된 제1 금속층, 제1 금속층과 이격 배치된 제2 금속층이 구비되고, 제1 금속층의 외측, 제2 금속층의 외측 및 제1 금속층과 제2 금속층의 내측에 유전체층이 형성된 IMIMI형 구조를 갖는 중간단; 및상기 중간단의 단부에서 제1 금속층과 제2 금속층의 사이에 해당되는 높이로, 중간단의 내부와 연통가능하게 배치되는 제3 금속층으로 형성된 M형 구조를 갖는 출력단을 포함하는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
21 21
제20항에 있어서, 상기 입력단 및 중간단을 형성하는 제1 금속층은 일체로 형성되며, 상기 제1 금속층의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
22 22
제21항에 있어서,상기 제1 금속층의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단에서 중간단으로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
23 23
제20항에 있어서, 상기 제2 금속층의 중간단의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
24 24
제23항에 있어서,상기 제2 금속층의 중간단의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 입력단 쪽에서 출력단 쪽으로 갈수록 좁아지는 구조 또는 그 역의 구조인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
25 25
제20항에 있어서, 상기 제3 금속층의 출력단의 평면 형상은 스트레이트 형상(straight shape), 스트레이트 테이퍼 형상(straight taper shape), 테이퍼진 삼각형상(tapered triangle shape), 파라볼릭 형상(parabolic shape), 지수함수(exponential function shape) 형상 또는 사인파 형상(sine curve shape) 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
26 26
제25항에 있어서,상기 제3 금속층의 출력단의 평면형상 중 스트레이트 형상을 제외한 나머지 형상들의 폭은 중간단 쪽에서 출력단의 단부로 갈수록 좁아지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
27 27
제20항에 있어서,상기 입력단의 경우, 길이는 1㎝ 내지 100㎛이고, 폭은 10㎛ 내지 1㎛이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
28 28
제20항에 있어서,상기 중간단의 경우, 길이는 1㎜ 내지 1㎛이고, 폭은 5㎛ 내지 100㎚이고, 두께는 50㎚ 내지 5㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
29 29
제20항에 있어서,상기 출력단의 경우, 길이는 100㎛ 내지 10㎚이고, 폭은 1㎛ 내지 1㎚이고, 두께는 1㎛ 내지 20㎚인 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
30 30
제20항에 있어서,상기 입력단에서는 입력된 광신호가 IMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
31 31
제30항에 있어서,상기 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드의 크기는 1㎛ 내지 100㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
32 32
제20항에 있어서,상기 중간단에서는 입력단의 IMI형 LR-SPP 모드가 IMIMI형 LR-SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
33 33
제32항에 있어서,상기 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드의 크기는 5㎛ 내지 50㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
34 34
제20항에 있어서,상기 출력단에서는 중간단의 IMIMI형 LR-SPP 모드가 M형 비대칭 SPP 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
35 35
제27항에 있어서,상기 출력단의 M형 비대칭 SPP 모드의 크기는 100㎚ 내지 10㎚ 인 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
36 36
제20항에 있어서,상기 제1 금속층 및 제2 금속층은 귀금속(noble metal) 및 천이금속(transition metal)으로 이루어지는 군 중에서 선택되는 어느 하나의 금속 또는 둘 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
37 37
제20항에 있어서,상기 각 유전체층은 규소(Si), 이산화규소(SiO2), 질화규소(Si3N4) 및 폴리머(Polymer)로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는표면 플라즈몬 폴라리톤 도파로 나노 집광소자
38 38
나노 플라즈몬 집적회로 모듈에 있어서,광 도파로를 통해 입력받은 광 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 변환시키고, 더 작은 크기로 집속하는 제20항 내지 제37항 중 어느 한 항에 따른 표면 플라즈몬 집광소자;상기 집속된 표면 플라즈몬 플라리톤 신호를 전송하는 단일 또는 이중 도파로 소자; 및 상기 단일 또는 이중 도파로 소자를 통하여 전송된 신호를 표면 플라즈몬 폴라리톤 신호로 탈집속하여 광신호로 변환시켜 출력하는 표면 플라즈몬 나노 탈집광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는나노 플라즈몬 집적회로 모듈
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1 지식경제부 성균관대학교 산학협력단 지식경제기술혁신사업-IT 원천기술개발사업 나노 플라즈모닉 집적회로(NPIC)