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도파관의 변환기 구현 방법

  • 기술번호 : KST2014029173
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예는 도파관의 변환기 구현 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 단일 공정(monolithic process)으로 구현이 가능한 변환기 구현 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 변환기 구현 방법은 도파관을 통해 송수신되는 전자기파 신호를 소정 처리하는 집적 회로(평면 회로)가 구현되는 기판에 변환기를 직접 구현하여 본 발명의 실시예의 기술적 과제를 해결한다. 본 발명의 실시예에 의하면, 변환기용 기판을 별도로 구현할 필요가 없으므로 변환기용 기판과 집적 회로를 연결시키기 위한 플립칩 본딩과 리본 본딩과 같이 성능과 직결되는 민감한 공정을 별도로 요구하지 아니한다. 아울러 도파관내 공기와의 불연속 효과를 줄이고 공기와의 정합 특성을 극대화 할 수 있다.
Int. CL H01P 11/00 (2006.01) G02B 6/14 (2006.01)
CPC H01P 3/121(2013.01) H01P 3/121(2013.01) H01P 3/121(2013.01) H01P 3/121(2013.01)
출원번호/일자 1020090115776 (2009.11.27)
출원인 동국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0951183-0000 (2010.03.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100407) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김삼동 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 문성운 대한민국 서울특별시 은평구
3 이진구 대한민국 서울특별시 도봉구
4 이재서 대한민국 경기도 성남시 분당구
5 오정훈 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)
2 현종철 대한민국 서울특별시 중구 다산로 **, *층 특허법인충현 (신당동, 두지빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 중구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0731804-51
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0016114-53
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2010.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2010.02.03 수리 (Accepted) 9-1-2010-0006367-61
5 등록결정서
Decision to grant
2010.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0068318-69
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0181531-15
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2010-0181516-29
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.08.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0497005-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5206478-99
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2011-5243351-46
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-0002002-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.16 수리 (Accepted) 4-1-2019-5163486-33
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번호 청구항
1 1
도파관을 통해 송수신되는 전자기파 신호를 소정 처리하는 집적 회로(평면 회로)가 구현되는 기판(substrate)에 변환기를 직접 구현하며, 상기 변환기의 구현은 상기 기판의 일부 표면을 트렌치 식각(trench etching)하는 단계; 상기 일부 표면을 제외한 나머지 표면과 상기 트렌치에 유전체를 증착하는 단계; 상기 증착된 유전체의 표면에 금속을 증착하고 금속 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 기판의 이면 중 상기 트렌치와 겹치는 부분을 식각(backside etching)하는 단계를 포함하는 변환기 구현 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 유전체는 산화규소(SiOx) 계통의 물질인 것을 특징으로 하는 변환기 구현 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 전자기파는 밀리미터파인 것을 특징으로 하는 변환기 구현 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행하기 위한 프로그램을 기록하는 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체
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1 WO2011065778 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
2 WO2011065778 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2011065778 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2011065778 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 동국대학교 산학협력단 산학협력중심대학육성사업 [산중-기술개발] 밀리미터파 센서를 이용한 휴대형 보안검색 장치개발