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I/Q 간섭계와 스캐닝 방법을 이용한 복합 기능 현미경

  • 기술번호 : KST2014029467
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 I/Q 간섭계와 스캐닝 방법을 이용한 복합 기능 현미경에 관한 것이다. 상기 복합 기능 현미경은, 시료에 대한 정보를 포함하는 탐지빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 I/Q 간섭계, 시료가 배치되는 시료대, XY 스캐너와 스캐너 구동 장치, 상하 이동 기구와 미세거리 조정 장치, 집광/시준 장치 및 컴퓨터를 구비한다. 상기 컴퓨터는 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조정 장치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면 또는 내부에 대한 정보를 추출하게 된다. 상기 복합 기능 현미경은 시료에 대하여 다단층 스캐닝하거나 일정 위상 스캐닝을 수행하여 시료의 표면이나 내부 구조에 대한 정보를 획득하게 된다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020080000834 (2008.01.03)
출원인 서강대학교산학협력단, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0927865-0000 (2009.11.13)
공개번호/일자 10-2009-0075069 (2009.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20091123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.03)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조규만 대한민국 서울 강북구
2 권강혁 대한민국 서울 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0004987-00
2 보정요구서
Request for Amendment
2008.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0008064-60
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0038412-11
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0442332-77
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0443505-47
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0074169-07
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0151138-59
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0344862-11
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0415662-30
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0415651-38
12 등록결정서
Decision to grant
2009.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0461911-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시료로 탐지빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 탐지빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 I/Q 간섭계; 시료가 배치되는 시료대; 상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너; 상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치; 상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향과 동일한 방향으로 이동시키는 상하 이동 기구; 상기 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 미세 거리 조정 장치; 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 탐지빛을 시료의 표면으로 집광시키거나 시료에 의해 반사되거나 투과된 탐지빛을 시준시켜 I/Q 간섭계로 다시 제공하는 집광/시준 장치; 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조정 장치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면 또는 내부에 대한 정보를 추출하는 컴퓨터; 를 구비하고, 상기 컴퓨터는 상하 이동 기구를 임의의 위치에 고정시킨 후 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제1 단층에 대하여 스캐닝한 후, 상하 이동 기구를 구동시켜 시료대를 이동시킨 후 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제2 단층에 대하여 스캐닝하며, 이러한 과정을 반복적으로 수행하여 시료에 대하여 다단층 스캐닝을 수행하며, 상기 시료의 표면을 스캐닝할 때 상기 집광/시준 장치에 의해 I/Q 간섭계로 다시 제공되는 탐지빛은 시료의 각 위치에 대한 위상 변화와 진폭 변화에 대한 정보를 포함하며, 상기 컴퓨터는 상기 시료의 표면을 스캐닝할 때 획득된 상기 탐지빛의 위상 변화에 대한 정보를 이용하여 시료의 표면에 대한 구조적 형상을 판단하며, 상기 탐지빛의 진폭 변화에 대한 정보를 이용하여 시료의 표면에 대한 물질적 특성을 판단하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 현미경
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시료로 탐지빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 탐지빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 I/Q 간섭계; 시료가 배치되는 시료대; 상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너; 상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치; 상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향과 동일한 방향으로 이동시키는 상하 이동 기구; 상기 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 미세거리 조정 장치; 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 탐지빛을 시료의 표면으로 집광시키거나 시료에 의해 반사되거나 투과된 탐지빛을 시준시켜 I/Q 간섭계로 다시 제공하는 집광/시준 장치; 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조정 장치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 I/Q 간섭계로부터 제공되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면 및 내부의 정보를 추출하는 컴퓨터; 를 구비하고, 상기 컴퓨터는 시료의 특정 위치에 탐지빛의 초점을 맺히게 하여 기준 위상을 설정한 후, 상기 시료를 XY 방향으로 스캐닝할 때 상기 기준 위상이 변하지 않도록 하기 위한 되먹임 조절용 오차 신호를 미세 거리 조정 장치로 제공하며, 상기 되먹임 조절용 오차 신호에 따라 집광/시준 장치와 시료와의 간격을 조정하며, XY 위치에 따른 되먹임 조절용 오차 신호를 이용하여 시료의 표면의 높낮이를 측정하며, 상기 시료를 스캐닝할 때 상기 집광/시준 장치에 의해 I/Q 간섭계로 다시 제공되는 탐지빛은 시료의 각 위치에 대한 위상 변화와 진폭 변화에 대한 정보를 포함하며, 상기 컴퓨터는 상기 시료의 표면을 스캐닝할 때 획득된 상기 탐지빛의 위상 변화에 대한 정보를 이용하여 시료의 표면에 대한 구조적 형상을 판단하며, 상기 탐지빛의 진폭 변화에 대한 정보를 이용하여 시료의 표면에 대한 물질적 특성을 판단하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 현미경
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제1항 및 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컴퓨터는 스캐닝 결과에서 진폭 신호가 가장 큰 지점을 찾고, 상기 진폭 신호가 가장 큰 지점과 위상이 같은 지점들을 연결하여 표면 형상에 대한 등고선 또는 등고면을 획득하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 현미경
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제3항에 있어서, 상기 컴퓨터는 상기 획득된 등고선 또는 등고면에 대한 진폭 신호들로부터 반사율 변화 정도를 검출하고, 검출된 반사율 변화 정도에 따라 시료의 매질의 불균질성을 판단하는 것을 특징으로 하는 복합 기능 현미경
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2 US20100290061 US 미국 FAMILY
3 WO2009084766 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 서울특별시/한국과학재단 한국과학재단 기초과학 연구사업(우수연구 미더육성)특정 기초연구 물체 반사속성 모델링을 위한 간섭계 광학 및컴퓨터 비전, 그래픽스의 결합연구