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단일 편극의 강유전체 기판의 양의 편극면 위에 전극을 형성하는 단계;
상기 강유전체 기판의 음의 편극면 위에 전자빔 레지스터를 코팅하는 단계;
마스크를 이용하여 상기 전자빔 레지스터 위에 편극이 역전되는 도메인 영역을 패터닝하는 단계; 및
상기 강유전체의 편극 도메인을 역전시키기 위해 상기 음의 편극면에 전자빔을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체의 편극 도메인을 역전시키는 방법
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제 1항에 있어서,
상기 마스크는 열팽창계수가 인바(invar) 금속보다 작은 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전체의 편극 도메인을 역전시키는 방법
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3
제 1항에 있어서,
상기 전자빔의 조사량이 증가함에 따라 편극이 역전되는 도메인 영역의 폭과 깊이의 크기가 증가하는 것을 특징으로 하는 강유전체의 편극 도메인을 역전시키는 방법
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4
제 1항에 있어서,
상기 전자빔의 에너지가 증가함에 따라 편극이 역전되는 도메인 영역의 크기가 증가하는 것을 특징으로 하는 강유전체의 편극 도메인을 역전시키는 방법
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제 1항에 있어서,
편극 도메인을 패터닝하기 위한 전자빔의 에너지는 1
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제 1항에 있어서,
상기 전자빔 레지스터는 포토 레지스터인 것을 특징으로 하는 강유전체의 편극 도메인을 역전시키는 방법
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7
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능 기록 매체
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단일 편극의 강유전체 기판;
상기 강유전체 기판의 양의 편극면 위에 형성된 전극; 및
상기 강유전체 기판의 음의 편극면 위에 편극이 역전되는 도메인 영역을 패터닝하는 마스크를 포함하고,
전자빔이 상기 마스크가 덮지 않은 도메인의 편극을 역전시키는 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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제 8항에 있어서,
상기 강유전체 기판의 음의 편극면과 상기 마스크 사이에 전자빔 레지스터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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10
제 8항에 있어서,
상기 마스크는 열팽창계수가 인바(invar) 금속보다 작은 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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11
제 8항에 있어서,
상기 전자빔의 조사량이 증가함에 따라 편극이 역전되는 도메인 영역의 폭과 깊이의 크기가 증가하는 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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12
제 8항에 있어서,
상기 전자빔의 에너지가 증가함에 따라 편극이 역전되는 도메인 영역의 크기가 증가하는 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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13
제 8항에 있어서,
편극 도메인을 패터닝하기 위한 전자빔의 에너지는 1
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제 9항에 있어서,
상기 전자빔 레지스터는 포토 레지스터인 것을 특징으로 하는 편극 역전된 도메인을 갖는 강유전체
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