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금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014029768
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 금속산화물로 형성된 1차원 나노구조물의 표면에 박막증착법에 의해 금속박막을 증착시키고, 열처리를 통해 금속 나노입자가 형성되도록 함으로써 고기능 나노구조물을 합성하는 최적의 공정조건을 확립하고, 나노구조물의 직경과 분포를 제어할 수 있도록 하는 금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법에 관한 것이다.본 발명은 1차원 나노 구조물의 제조방법에 있어서, 금속 산화물로 형성된 1차원 나노구조물의 표면에 플라즈마 스퍼터링법에 의해 금속 박막층을 증착시키고, 열처리에 의해 증착된 금속 박막층을 파티클 형태로 형성시키는 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020100035327 (2010.04.16)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1151424-0000 (2012.05.23)
공개번호/일자 10-2011-0115798 (2011.10.24) 문서열기
공고번호/일자 (20120601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현우 대한민국 인천광역시 남구
2 나한길 대한민국 인천광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김국진 대한민국 인천광역시 연수구 송도과학로 **, A동 ***호(송도동, 송도테크노파크IT센터)(특허법인아이더스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0244052-57
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0605800-07
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1015812-04
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-1015799-97
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0295147-96
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
1차원 나노 구조물의 제조방법에 있어서,금속 산화물을 이용하여 1차원 나노 구조물을 형성시키는 나노 구조물 형성단계와,상기 나노 구조물의 표면에 금속박막층을 형성시키는 박막층 형성단계 및상기 나노 구조물의 표면에 열처리를 하여 금속 나노입자를 성장시키는 열처리 단계를 포함하여 구성되되,상기 나노 구조물 형성단계는 스퍼터링 기법에 의해 금속 산화물의 표면에 촉매층을 증착시키는 촉매층 증착단계와,촉매층이 증착된 금속 산화물을 이용하여 화학기상증착공정에 의해 1차원 나노구조물을 제조하는 화학기상증착단계로 구성되고,상기 박막층 형성단계 및 열처리 단계에서는 1차원 나노 구조물의 사용 목적에 따라 박막층 형성시간 및 열처리 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법
3 3
삭제
4 4
제 2항에 있어서,상기 박막층 형성단계에서는 플라즈마 스퍼터링법에 의해 1차원 나노구조물의 표면에 금속박막층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법
5 5
제 2항에 있어서,상기 열처리 단계에서는 어닐링 방법에 의해 1차원 나노구조물의 표면에 금속 나노입자를 성장시키는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자를 표면에 형성한 1차원 나노구조물의 제조방법
6 6
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