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지름이 10㎛ 내지 100㎛인 산화마그네슘(MgO) 및 산화철 분말을 제조하는 단계, 상기 제조된 분말을 기계적으로 혼합하여 혼합분말을 제조하는 단계, 상기 혼합분말을 분말주입가스(carrier gas)와 함께 RF(Radio Frequency) 플라스마(Plasma) 연소장치에 주입하는 단계, 상기 RF 플라스마 연소장치에 중앙가스(central gas), 차단가스(sheath gas)를 공급하는 단계, 상기 RF(Radio Frequency) 플라스마(Plasma) 연소장치에 급랭가스(quenching gas)를 공급하는 단계를 포함하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 산화철은 Fe2O3, FeO 및 Fe3O4로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 철 산화물의 혼합물인 나노분말 제조방법
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제2항에 있어서,상기 혼합분말은 상기 산화철의 양이 1~100ppm이고 나머지가 산화마그네슘(MgO) 및 불가피한 불순물로 이루어진 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 중앙가스 및 급랭가스는 불활성 기체이고, 상기 차단가스는 불활성 기체 및 산소의 혼합 기체이며, 상기 분말주입가스는 산소인 나노분말 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 중앙가스는 5~40slpm으로 공급하고, 상기 급랭가스는 50~400slpm으로 공급하며, 상기 차단가스는 불활성 기체 10~80slpm 및 산소 10~100splm가 혼합하여 공급하고, 상기 분말주입가스는 5~40slpm으로 공급하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 RF 플라스마 연소장치에 15~150KW의 전력을 공급하는 나노분말 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 플라스마 연소장치는 혼합된 분말을 분사하는 노즐 및 RF(Radio Frequency)에너지를 발생하는 유도 코일을 포함하고,상기 노즐 및 유도 코일 중앙부의 간격이 0
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제1항에 있어서, 상기 제조된 나노분말을 성형 및 소결하는 단계를 더 포함하는 증착 타겟(target) 제조방법
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제1항의 방법으로 제조된, 산화철이 도핑(doping)된 산화마그네슘(MgO) 나노분말
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제9항에 있어서, 상기 산화철은 Fe2O3, FeO 및 Fe3O4로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 철 산화물의 혼합물인 산화마그네슘(MgO) 나노분말
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