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하우징에 의해 규정되는 챔버, 상기 챔버 내에 설치된 냉각기, 상기 냉각기에 접촉되어 냉각되는 흡착재를 포함하는 크라이오 펌프에 대한 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 장치로서, 상기 장치는,상기 흡착재에 전자빔을 투사하기 위해 상기 챔버 내에 설치된 전자총; 상기 흡착재 표면에서 방출된 이온의 비행 시간 및 이온량을 검출하기 위해 상기 챔버 내에 설치된 센서; 및상기 센서에서 검출된 상기 이온의 비행 시간 및 이온량으로부터 상기 흡착재에 흡착된 가스의 종류 및 흡착량을 계산하기 위한 계산 수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 흡착재 표면에서 방출된 이온의 이온량을 증폭하기 위해 상기 흡착재와 상기 센서 사이에 설치된 마이크로 채널 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 크라이오 펌프의 챔버 내에 균일한 전기장을 형성하기 위해 상기 흡착재와 상기 마이크로 채널 플레이트 사이에 설치된 금속 메쉬를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 금속 메쉬는 금을 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 장치
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하우징에 의해 규정되는 챔버, 상기 챔버 내에 설치된 냉각기, 상기 냉각기에 접촉되어 냉각되는 흡착재를 포함하는 크라이오 펌프에 대한 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 방법으로서, 상기 방법은:상기 냉각기를 작동하여 상기 흡착재의 온도를 소정의 온도 이하로 유지하는 단계;상기 챔버 내에 가스를 주입하고 상기 흡착재에 가스를 흡착시키는 단계;상기 흡착재 표면에 전자총의 전자빔을 투사하는 단계; 상기 흡착재 표면에서 방출된 이온의 비행 시간 및 이온량을 검출하는 단계; 및상기 검출된 이온의 비행 시간 및 이온량으로부터 비행 시간 측정법에 의해 상기 흡착재에 흡착된 가스의 종류 및 흡착량을 계산하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 흡착재 표면에서 방출된 이온을 마이크로 채널 플레이트를 이용하여 증폭하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 냉각기의 작동 이전에, 상기 챔버의 배기장치에 부착된 펌프를 이용하여 상기 챔버 내의 압력을 10-8 Pa 이하로 낮추는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 흡착재에 흡착된 가스는 희가스인 것을 특징으로 하는 크라이오 펌프 흡착재의 가스 흡착 특성 측정 방법
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