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마이크로 액체연료전지에 있어서, 다수의 관통공이 형성된 제 1 웨이퍼 및 제 2 웨이퍼;상기 제 1 웨이퍼 및 제 2 웨이퍼 상에 서로 대향하도록 형성된 상부 전극 및 하부 전극; 상기 상·하부 전극 사이에 배치된 전해질 공간부; 및 상기 상·하부 전극 각각으로부터 상·하 방향으로 연장되되, 상기 제 1 웨이퍼 및 제 2 웨이퍼의 관통공을 갖는 멤브레인; 을 포함하는 마이크로 액체연료전지
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제 1 항에 있어서, 상기 전해질 공간부는, 액체 전해질이 저장되되, 상기 액체 전해질은 KOH 용액인 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 웨이퍼 및 제 2 웨이퍼는, 각각 연료 챔버 및 공기 채널을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 웨이퍼 및 제 2 웨이퍼는, 유리 재질인 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지
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제 3 항에 있어서,상기 연료는, NaBH4 알칼라인 액체연료인 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지
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마이크로 액체연료전지 제조방법에 있어서, 웨이퍼에 감광막을 증착하고, 증착된 감광막 위에 소정 패턴이 기록된 포토마스크를 마련하여 노광시키는 제 1 단계; 상기 웨이퍼의 상부를 습식 식각하는 제 2 단계;상부 전극과 하부 전극에 각각 연료와 공기가 주입될 수 있도록, 상기 웨이퍼의 배면에 다공성 구조를 갖는 멤브레인을 마련하여 반응성 이온 식각하는 제 3 단계; 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 금속을 증착하여 전극을 형성함으로써 제 1 웨이퍼를 제작하는 제 4 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제 4 단계 이후에, 상기 제 1 단계부터 제 4 단계까지의 절차를 동일하게 반복 수행함으로써 제 2 웨이퍼를 제작하는 제 5 단계; 를 더 포함하는 마이크로 액체연료전지 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 제 5 단계 이후에, 상기 제 1 웨이퍼와 제 2 웨이퍼 사이에 폴리머 층을 형성한 뒤, 열을 가함으로써 상기 두 웨이퍼를 접합하는 제 6 단계; 를 더 포함하는 마이크로 액체연료전지 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 단계 이전에, 상기 웨이퍼에 산화막을 증착하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 단계 이후에, 상기 웨이퍼의 산화막을 제거하는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 액체연료전지 제조방법
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