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산화구리 형성 방법

  • 기술번호 : KST2014030586
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 기술은 전기화학증착법에 의해 산화구리를 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 산화구리 형성 방법에 있어서, 구리를 포함하는 수용액 및 착물 형성용 시료를 포함하는 수용액을 교반하여 전기화학증착 수용액을 제조하는 단계; 및 상기 전기화학 증착 수용액에 직류 전압을 가해, 상기 시료로부터 형성된 착물을 이용하여 산화구리막을 형성하는 단계를 포함한다. 본 기술에 따르면, 착물을 이용한 전기화학증착 방식에 의해 산화구리막을 형성함으로써, 표면이 매끄럽고 결정 방위 배열이 일정한 산화구리 박막을 형성할 수 있다. 특히, 착물을 이용하는 함으로써, 저온에서 단결정 선화구리막을 형성할 수 있으므로, 제조 단가를 낮추고, 공정을 더욱 용이하게 수행할 수 있다. 산화구리, 착물, HMTA
Int. CL C25D 3/38 (2006.01) C25D 11/34 (2006.01) H05K 1/09 (2006.01)
CPC C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01)
출원번호/일자 1020090022569 (2009.03.17)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1069738-0000 (2011.09.27)
공개번호/일자 10-2010-0104265 (2010.09.29) 문서열기
공고번호/일자 (20111005) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.03.17)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강성웅 대한민국 경상남도 사천시
2 박배호 대한민국 서울특별시 강남구
3 홍사환 대한민국 서울특별시 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 구현서 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **-**(서초동)(특허법인키)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0160430-41
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0624591-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077174-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0157616-60
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0378764-34
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0378760-52
8 등록결정서
Decision to grant
2011.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0545824-06
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2012-5116974-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구리를 포함하는 수용액 및 착물 형성용 시료를 포함하는 수용액을 교반하여 전기화학증착 수용액을 제조하는 단계; 및 상기 전기화학 증착 수용액에 직류 전압을 가해, 상기 시료로부터 형성된 착물을 이용하여 산화구리막을 형성하는 단계를 포함하고, 여기서, 상기 산화구리막 형성 단계는, 상기 시료로부터 착물이 형성되는 단계; 상기 착물이 분해되어 구리 이온이 형성되는 단계; 및 상기 구리 이온의 축합 반응에 의해 산화구리막이 형성되는 단계 를 포함하는 산화구리막 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 산화구리막 형성 단계 전에, 제조된 상기 전기화학증착 수용액을 80 내지 90℃의 온도에서, 100rpm 이상의 속도로 5분 이상 교반하는 단계 를 더 포함하는 산화구리막 형성 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 구리를 포함하는 수용액은, 구리질산염 수용액인 산화구리막 형성 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 착물 형성용 시료는, HMTA(hexamethylenetetramine)인 산화구리막 형성 방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 구리를 포함하는 수용액의 농도는, 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 착물 형성용 시료를 포함하는 수용액의 농도는, 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 전기화학증착 수용액의 농도는 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 산화구리막 형성 단계는, 상기 전기화학증착 수용액 내에 동작 전극, 기준 전극 및 상대 전극을 장입하고, 상기 기준 전극에 -30 내지 -80mV의 직류전압을 인가하여 수행되는 산화구리막 형성 방법
10 10
구리질산염 수용액 및 HMTA를 포함하는 수용액을 교반하여 전기화학증착 수용액을 제조하는 단계; 및 상기 전기화학 증착 수용액에 직류 전압을 가해, 상기 HMTA로부터 형성된 착물을 이용하여 산화구리막을 형성하는 단계 를 포함하는 산화구리막 형성 방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 산화구리막 형성 단계 전에, 제조된 상기 전기화학증착 수용액을 80 내지 90℃의 온도에서, 100rpm 이상의 속도로 5분 이상 교반하는 단계 를 더 포함하는 산화구리막 형성 방법
12 12
제 10 항에 있어서, 상기 산화구리막 형성 단계는, 상기 HMTA로부터 착물이 형성되는 단계; 상기 착물이 분해되어 구리 이온이 형성되는 단계; 및 상기 구리 이온의 축합 반응에 의해 산화구리막이 형성되는 단계 를 포함하는 산화구리막 형성 방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 착물 형성 단계는, 상기 HMTA가 분해되어 구리암모늄 착물([Cu(NH3)4(H2O)]2+) 또는 암모늄수산화착물((NH4)+OH-)을 형성하는 산화구리막 형성 방법
14 14
제 12 항에 있어서, 상기 착물 형성 단계는, 상기 HMTA가 미분해 또는 부분 분해되어 (CH2)6N4-H+ 착물 또는 [Cu((CH2)6N4)]2+착물을 형성하는 산화구리막 형성 방법
15 15
제 10 항에 있어서, 상기 구리질산염 수용액의 농도는, 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
16 16
제 10 항에 있어서, 상기 HMTA 수용액의 농도는, 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
17 17
제 10 항에 있어서, 상기 전기화학증착 수용액의 농도는 20mM 이상인 산화구리막 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.