요약 | 인듐(In), 갈륨(Ga), 바륨(Ba), 아연(Zn) 및 산소(O)를 포함하고, (In+Ga)/(In+Ga+Ba+Zn)의 원자비(at%)가 15 내지 85 인 금속 산화물 조성물, 및 이를 이용한 소결체 및 도전성막이 제공된다. 인듐(In), 갈륨(Ga), 바륨(Ba), 아연(Zn), 소결체, 도전성막, 수축률, 투명성, 도전성 |
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Int. CL | H01L 21/306 (2006.01) C01G 9/02 (2006.01) C01G 15/00 (2006.01) C01F 11/02 (2006.01) |
CPC | C01G 15/00(2013.01) C01G 15/00(2013.01) C01G 15/00(2013.01) C01G 15/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020090135457 (2009.12.31) |
출원인 | 재단법인 포항산업과학연구원 |
등록번호/일자 | 10-1082514-0000 (2011.11.04) |
공개번호/일자 | 10-2011-0078604 (2011.07.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20111110) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2009.12.31) |
심사청구항수 | 5 |