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하부 기판;
상기 하부 기판 상의 클래딩 재료 일면에 코어가 형성된 채널 광도파로;
상기 코어와 이격되고 상기 클래딩 재료 상부에서 상기 코어의 높이보다 높게 형성되는 스페이서; 및
상기 스페이서의 상부에 형성되고 상기 채널 광도파로와는 이격된 상부 기판의 하면에 부착된 평면 광도파로;를 포함하고,
상부 기판 상에 외부에서 소정의 압력이 인가되는 경우 상기 채널 광도파로가 상기 평면 광도파로와 광 결합(optical coupling)함으로써 발생되는 상기 채널 광도파로의 광 입출력 세기변화를 측정하는 광 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 외부에서 압력이 인가되는 경우 상기 채널 광도파로를 통과하는 광신호가 상기 평면 광도파로로 이동하여 상기 채널 광도파로의 광 출력 양에 변화가 생김으로써 압력의 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 광 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 채널 광도파로와 상기 평면 광도파로의 재료는 UV 또는 열에 의해 경화가 가능한 고분자인 것을 특징으로 하는 광 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 채널 광도파로의 코어 재료의 굴절율(N1)이 클래딩 재료의 굴절율(N2)보다 큰 것을 특징으로 하는 광 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 채널 광도파로의 두께는 15 내지 30um 인 것을 특징으로 하는 광 압력 센서
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제1항에 있어서, 상기 하부 기판은 실리콘 기판 또는 유리 기판이고, 상기 상부 기판은 유연성 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 광 압력 센서
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7
하부 기판에 클래딩을 형성하는 단계;
상기 클래딩 상에 포토마스크를 이용하여 채널 광도파로의 코어를 형성하는 단계;
상기 코어로부터 이격된 자리에 포토마스크를 이용하여 상기 코어의 높이보다 높은 스페이서를 형성하는 단계;
미리 준비된 상부 기판에 평면 광도파로를 올리는 단계; 및
상기 평면 광도파로를 하측으로 하여 상기 상부 기판을 스페이서 상부에 올리고 부착하는 단계를 포함하는 광 압력 센서의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 채널 광도파로와 상기 평면 광도파로의 재료는 UV 경화성 고분자인 것을 특징으로 하는 광 압력 센서의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 하부 기판은 실리콘 기판 또는 유리 기판이고, 상기 상부 기판은 유연성 플라스틱 기판인 것을 특징으로 하는 광 압력 센서의 제조방법
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10
하부 기판에 클래딩을 형성하는 단계;
상기 클래딩 상에 임프린팅 또는 인젝션 몰딩의 방법을 이용하여 채널 광도파로의 코어 및 상기 코어와 이격된 자리에 스페이서를 동시에 형성하는 단계;
미리 준비된 상부 기판에 평면 광도파로를 올리는 단계; 및
상기 평면 광도파로를 하측으로 하여 상기 상부 기판을 상기 스페이서 상부에 올리고 부착하는 단계를 포함하는 광 압력 센서의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 코어의 높이보다 상기 스페이서의 높이가 더 높은 것을 특징으로 하는 광 압력 센서의 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 광 압력 센서를 어레이 형태로 제작하고 각각의 센서에 인가되는 압력을 독립적으로 측정하기 위하여 복수 개의 광원과 광 검출기를 배열함으로써 평면상에 인가되는 압력의 분포를 측정할 수 있는 광센서 어레이
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