| 요약 |
본 발명은 검사하고자 하는 대상물의 표면을 촬영하여 획득한 정해진 크기의 표면영상으로부터 스크래치(scratch), 도색불량을 포함하는 결함의 발생 유무를 자동으로 판별하기 위한 표면 밝기 분포의 분산 산출 알고리즘을 이용한 대상물 표면의 영상 검사방법을 제공한다. 이와 같은 본 발명에 따른 표면 밝기 분포의 분산 산출 알고리즘을 이용한 대상물 표면의 영상 검사방법은 대상물의 표면영상이 분할되면서 생성되는 격자형상의 분할영역인 검색자 각각을 표면 밝기값을 가지는 다수개의 픽셀로 분할하여 각 검색자의 표면 밝기 분포를 표면 밝기값들에 대한 2차에 걸친 분산(variance of variance) 산출을 통해 해석하는 확률기반의 수학적 알고리즘을 제공함으로써 대상물 표면에 발생된 결함의 판별이 검색자가 위치한 한정된 분할영역의 밝기 분포 특성으로부터 도출되어 대상물 표면의 난반사와 같은 광학적 특성, 대상물 표면의 거칠기와 같은 물리적 특성, 대상물 표면을 촬영하기 위한 조명 특성의 영향이 최소화되고, 이에 따른 표면영상의 지역적 영상오차가 제거될 수 있게 된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 표면 밝기 분포의 분산 산출 알고리즘을 이용한 대상물 표면의 영상 검사방법은 높은 신뢰성과 안정성을 가지고 결함을 판별할 수 있도록 한다. 본 발명에 따른 표면 밝기 분포의 분산 산출 알고리즘을 이용한 대상물 표면의 영상 검사방법은 표면영상 분할단계, 제1차 분산 산출단계, 제2차 분산 산출단계, 결함판별단계로 이루어진다. 표면영상 분할단계는 검사하고자 하는 대상물의 표면을 촬영하여 획득한 정해진 크기의 표면영상을 가로로 M등분하고 세로로 N등분하여 격자형상의 분할영역인 정해진 크기의 검색자를 M×N개 생성하고, 검색자 각각을 행으로 m등분하고 열로 n등분하여 격자형상의 서브분할영역인 픽셀을 m×n개 생성하며, 픽셀이 위치한 영역의 표면 밝기가 디지털화된 수치의 표면 밝기값으로 산출되어 상기 픽셀 각각에 할당되도록 하는 단계이다. 제1차 분산 산출단계는 M×N개의 검색자로부터의 하나의 검색자를 순차적으로 선택하고, 선택된 하나의 검색자 전체 행에서 순차적으로 선택된 하나의 행을 이루는 픽셀들의 표면 밝기값으로부터 산출되는 각 행의 표면 밝기값 분산의 집합인 행 분산집합과, 선택된 하나의 검색자 전체 열에서 순차적으로 선택된 하나의 열을 이루는 픽셀들의 표면 밝기값으로부터 산출되는 각 열의 표면 밝기값 분산의 집합인 열 분산집합을 산출하여, M×N개의 검색자를 이루는 각각의 검색자에 대한 행 분산집합과 열 분산집합을 산출하는 단계이다. 제2차 분산 산출단계는 M×N개의 검색자로부터의 하나의 검색자를 순차적으로 선택하고, 선택된 하나의 검색자의 행 분산집합을 이루는 분산들의 분산을 하나의 검색자의 전체 행 분산으로서 산출하며, 선택된 하나의 검색자의 열 분산집합을 이루는 분산들의 분산을 하나의 검색자의 전체 열 분산으로서 산출하여, M×N개의 검색자를 이루는 각각의 검색자에 대한 전체 행 분산과 전체 열 분산을 산출하는 단계이다. 결함판별단계는 M×N개의 검색자 각각이 가지는 전체 행 분산과 전체 열 분산으로부터 각각의 검색자가 결함을 포함하는지 유무를 판별하는 단계이다. 영상 검사, 분산, 검색자, 임계값, 가중치
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