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웨이퍼가 일측에 마련된 기판의 다른 일측에, 광전도 안테나를 형성하는 단계; 및 상기 웨이퍼를 연마하여 반구형의 볼렌즈를 형성시키는 단계를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 웨이퍼는 반절연성 갈륨비소 또는 저온성장 갈륨비소를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판은 반절연성 갈륨비소 또는 저온성장 갈륨비소를 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광전도 안테나를 어레이 정렬구조로 형성한 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 기판의 절단되는 일부 영역에 하나의 상기 광전도 안테나가 위치하도록 전체 구조물을 소정 크기로 절단하는 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 광전도 안테나에 외부 소자와의 전기적 연결을 위한 신호선을 연결하는 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 4항에 있어서, 상기 광전도 안테나를 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 광전도성 박막을 증착하고, 상기 광전도성 박막을 패터닝하여 다수의 상기 광전도 안테나를 어레이 정렬 구조로 형성하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 광전도성 박막을 패터닝할 때, 중앙 돌출 부위를 갖는 금속 평행 전송선로와 상기 금속 평행 전송선로의 양단에 전극 패드가 형성된 형태로 패터닝하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 5항에 있어서, 상기 기판의 절단되는 일부 영역에 하나의 상기 광전도 안테나가 위치하도록 상기 전체 구조물을 소정 크기로 블록화한 후, 소잉 공정을 통해 블록화된 크기로 절단하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 블록화 이전에,상기 광전도 안테나의 상부에 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 볼렌즈 형성 후, 상기 보호막을 제거하고 상기 광전도 안테나에 외부 소자와의 전기적 연결을 위한 신호선을 연결하는 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 볼렌즈가 형성된 광전도 안테나에 레이저 펄스를 집속시키기 위한 집속 렌즈를 정렬시키는 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 볼 렌즈는 5mm 내지 100mm의 직경을 갖는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판은 5mm 내지 100mm의 두께를 갖는 테라헤르츠파 송수신 모듈 제조 방법
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