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기판; 및상기 기판에 수직방향으로 작용하는 가속도에 의해 회전운동 가능하도록 상기 기판에 배치되는 감지 질량체와 상기 감지 질량체에 형성된 감지 전극을 가지는 복수개의 단위 수직축 가속도계를 포함하고, 상기 복수개의 단위 수직축 가속도계를 상기 감지 전극이 맞닿도록 마련하여 상기 맞닿는 감지 전극간의 중첩되는 면적이 변함에 따른 정전용량의 변화를 통해서 가속도를 검출하는 수직축 방향 가속도계
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제1항에 있어서, 상기 감지 질량체는 지지스프링에 의해 상기 기판과 연결되어 있고 상기 지지스프링에 대해서 비대칭 질량을 가져 수직방향 가속도가 가해지면 상기 지지스프링에 대해서 회전운동을 하는 수직축 방향 가속도계
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제2항에 있어서,상기 감지 질량체는 상기 지지스프링을 중심으로 양쪽에 중량부와 경량부를 가지고, 상기 단위 수직축 가속도계는 상기 감지 질량체의 중량부와 다른 감지 질량체의 경량부가 서로 마주보도록 배치되는수직축 방향 가속도계
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제 3항에 있어서, 상기 감지 전극은 상기 감지 질량체의 양 끝단 또는 측면에 형성되며, 상기 단위 수직축 가속도계가 맞닿도록 배치될 때 감지 전극들이 서로 충돌하지 않고 일정한 간격과 면적을 가질 수 있도록 쌍으로 형성되는 수직축 방향 가속도계
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제4항에 있어서,상기 감지 질량체의 중량부는 기판에 수직으로 가해지는 가속도 방향으로 회전하게 되고, 상기 감지 전극은 상기 감지 질량체의 중량부와 다른 감지 질량체의 경량부 간의 중첩되는 면적이 변하는 것을 정전용량값의 변화로 측정하여 가속도를 감지하는수직축 방향 가속도계
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제2항에 있어서, 상기 감지 질량체는 질량체의 선택적 식각, 다른 물질의 증착 또는 면적의 차이로 상기 지지스프링에 대해서 비대칭 질량을 갖는 수직축 방향 가속도계
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제2항에 있어서, 상기 지지스프링은 수직방향 가속도에 의해 상기 감지 질량체가 상하회전할 때 비틀리거나 굽혀지는 수직축 방향 가속도계
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제 1 항에 있어서, 상기 단위 수직축 가속도계는 상기 기판상에 서로 맞물려서 폐루프를 형성하도록 배치되는수직축 방향 가속도계
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