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광신호가 입출력되는 제1포트 내지 제4포트;광신호를 분기 및 결합하는 커플러(coupler); 및상기 제1포트 내지 제4포트와 상기 커플러를 연결하고 광신호를 전송하는 제1 광도파로 내지 제4 광도파로를 포함하며,상기 커플러는 상기 제1포트에서 입력되는 광신호를 분기하여 상기 제2포트 및 제3포트로 전송하고 상기 제2포트 및 제3포트로부터 전송받은 광신호를 결합하여 제4포트로 전송하고, 상기 제1포트와 연결되는 제1 광도파로와 상기 제4포트와 연결되는 제4 광도파로의 방향이 직교가 되도록 제1포트 및 제4포트를 배치하는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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2 |
2
제1항에 있어서, 상기 커플러 및 광도파로는 규소 산화물 및 규소 질화물의 기판 상부에 하부 클래드, 코어 및 상부 클래드가 순차적으로 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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3 |
3
제1항에 있어서, 상기 제2포트와 연결된 제2 광도파로 및 상기 제3포트와 연결된 제3 광도파로의 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제2포트와 연결된 제2 광도파로 및 상기 제3포트와 연결된 제3 광도파로가 평행한 경우에는 상기 광도파로 간의 간격이 0
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5
제1항에 있어서, 상기 제3포트는 제2포트에서 수신되는 광신호와 제3포트에서 수신되는 광신호의 강도를 동일하게 하는 광흡수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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6 |
6
제1항에 있어서, 상기 제1포트 내지 제4포트는 광학장치와의 연결을 위한 연결부를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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7
제6항에 있어서, 상기 연결부는 기판을 V-그루브(groove) 형태로 식각하여 형성되는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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8
제6항에 있어서, 상기 각 연결부는 상기 각 포트와 상기 연결되는 광학장치 간의 광연결용 부품을 포함하는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치
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9
측정에 필요한 광신호를 생성하는 광 발생장치;입사되는 광신호를 반사하는 기준장치;바이오칩 장치;수신되는 광신호를 검출하는 광 검출장치; 및상기 광 발생장치의 광신호가 입력되는 제1포트, 상기 바이오칩에서 광신호가 입력되거나 상기 바이오칩으로 광신호가 출력되는 제2포트, 상기 기준장치에서 광신호가 입력되거나 상기 기준장치로 광신호가 출력되는 제3포트, 상기 광검출장치로 광신호가 출력되는 제4포트, 상기 제1포트에서 입력되는 광신호를 분기하여 상기 제2포트 및 제3포트로 전송하고 상기 제2포트 및 제3포트로부터 수신받은 광신호를 결합하여 제4포트로 전송하는 커플러(coupler), 및 상기 제1포트 내지 제4포트와 상기 커플러를 연결하고 광신호를 전송하는 제1 광도파로 내지 제4 광도파로를 포함하며, 상기 제1포트와 연결되는 제1 광도파로와 상기 제4포트와 연결되는 제4 광도파로의 방향이 직교가 되도록 제1포트 및 제4포트를 배치하는 것을 특징으로 하는 집적형 간섭 장치를 포함하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 커플러 및 광도파로는 규소 산화물 및 규소 질화물의 기판에 에칭 후 클래드 및 코어를 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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11
제9항에 있어서, 상기 집적형 간섭 장치는 상기 제2포트와 연결된 제2 광도파로 및 상기 제3포트와 연결된 제3 광도파로의 길이가 동일한 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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12
제9항에 있어서, 상기 집적형 간섭 장치는 제2포트에서 수신되는 광신호와 제3포트에서 수신되는 광신호의 강도를 동일하게 하는 광흡수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제1포트, 제2포트, 제3포트 및 제4포트는 상기 광 발생장치, 광 검출장치, 기준장치 및 바이오칩과의 연결을 위한 연결부를 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제13항에 있어서, 상기 연결부는 기판을 V-그루브(groove) 형태로 식각하여 형성되는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제13항에 있어서, 상기 각 연결부는 상기 각 포트와 광 발생장치, 광 검출장치, 기준장치 및 바이오칩과 광연결용 부품을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 광검출장치는 위상변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 광 감출장치에서 감지한 광신호와 기 저장한 파라메터를 이용하여 상기 바이오칩에 포함된 단백질의 정량값을 계산하여 표시하는 표시 장치 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제2포트와 바이오칩 사이에 터미널을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 바이오칩은 일회용인 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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제9항에 있어서, 상기 제3포트와 상기 기준장치 사이에 제2포트에서 수신되는 광신호와 제3포트에서 수신되는 광신호의 강도를 동일하게 하는 광흡수부를 더 배치하는 것을 특징으로 하는 바이오 감지 센서 시스템
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