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바이엑시알(biaxial)한 집합조직을 갖는 니켈기판, 니켈힙금기판 혹은 표면이 bi-axial texture를 갖는 니켈로 구성된 기판 위에 바이엑시알(biaxial)한 집합조직을 갖는 NiO박막을 도포하여 제조된 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체
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니켈을 포함하는 전구체가 용해된 무수유기용매를 난연성 천에 함침시킨 후 유기용매를 제거시켜 미세한 전구체를 나연성천에 석출되게 한 다음, 이 천이 가열부를 일정속도로 통과하게 하여 전구체의 증기를 형성시키고, 이 전구체의 증기를 화학증착반응기로 이송시켜 NiO 박막을 제조하는 것과 바이엑시알(biaxial)한 집합조직을 갖는 니켈기판 혹은 표면이 바이엑시알(biaxial)한 집합조직을 갖는 니켈로 구성된 기판 위에 화학증착법을 이용하여 바이엑시알(biaxial)한 집합조직을 갖는 NiO 박막을 도포시키는 방법을 포함하는 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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하우징에 각기 형성된 불활성아르곤 기체주입구(8)이 형성되며 난연성 천이 감기는 드럼(1-1), 드럼(1-2) 및 상기 난연성 천의 외곽에 설치된 가열기(3)와 이 가열기(3)의 상단에 연결된 가스통로(5) 및 이 통로의 끝단측면에 형성된 산소주입구(9)와, 상기 가스통로(5)의 상단에 설치된 노즐(6)과 그 상단에 니켈기판(7)의 재치부가 형성되며 끝단에 진공펌프가 연결된 진공실과 그 외곽에 설치된 가열장치(10)로 구성된 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조장치
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈금속의 유기금속화합물 또는 배위된 착물인 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈의 β-디케토네이트 화합물 또는 배위된 착물를 포함하는 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈의 플루오르화 β-디케토네이트 화합물 또는 배위된 착물을 포함하는 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈의 β-디케토네이트 루이스 염기 첨가물을 포함하는 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈의 Ni(thd)2의 β-디케톤 화합물인 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체는 니켈의 Ni(hfac)2의 β-디케톤 화합물인 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 유기용매는 전구체를 용해시키는데 사용되는 무수의 유기용매인 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 전구체를 용해시키는데 사용되는 무수의 유기용매는 테트라하이드로푸란, diglyme의 유기용매인 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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제 2항에 있어서, 난연성천은 미세기공을 지니고 있어 전구체를 포함한 유기용매가 스며들어 유기용매가 증발된 후 전구체를 포함할 수 있는 조직을 가진 것을 특징으로하는 (100)<001> 집합조직을 갖는 니켈판 위에 화학증착법으로 에피택시알하게 NiO박막을 제조한 Ni/NiO 복합체의 제조방법
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