레이저등의 광원을 물체에 조사한 후 산란되는 광점의 위치로부터 물체의 두께를 측정하는 광학식 두께 측정 장치에 있어서,

각각 물체의 윗면과 아래 면에 광점을 조사하도록 구된 레이저 빔 조사 장치(1)와, 측정 대상체(10)의 윗면과 아래 면에서 산란된 광점들을 하나의 선형 어레이 센서(5)에 2개의 광점의 영상이 정확히 맺히도록 구성된 측정 대상체의 윗면과 아래면에 각각 구성되어 있는 펜타프리즘(8)이 구비된 영상 광학계(4)와,

선형 어레이 센서(5)에 맺힌 2개의 광점 영상의 위치와 간격을 계산하는 신호처리 장치(6)로 구성된 것을 특징으로 하는 광학식 물체 두께 측정 장치

제1항에 있어서,

상기한 영상 광학계(4)는 측정 대상체(10)의 두께가 센서의 두께 측정 범위 안에 있을 경우 물체의 윗면과 아래 면에서 산란된 광점의 영상이 물체의 두께에 상관없이 상기한 하나의 선형 어레이 센서에 항상 정확히 맺도록 펜타프리즘(8)을 사용한 영상광학계(4)로 구성된 것을 특징으로 하는 광학식 두께 측정 장치

레이저등의 광원을 물체에 조사한 후 산란되는 과점의 위치로부터 물체의 두께를 측정하는 광학식 두께 측정 방법에 있어서,

각각 물체의 윗면과 아래 면에 광점을 조사하도록 구된 레이저 빔 조사 단계와, 측정 대상체의 윗면과 아래 면에서 산란된 광점들을 하나의 선형 어레이 센서에 2개의 광점의 영상이 정확히 맺히도록 펜타프리즘을 사용하는 영상 단계와,

선형 어레이 센서에 맺힌 2개의 광점 영상의 위치와 간격을 일고 계산하는 신호처리 단계를 특징으로 하는 광학식 두께 측정 방법

제3항에 있어서,

상기한 영상 단계는 측정 대상체의 두께가 센서의 두께 측정 범위 안에 있을 경우 물체의 윗면과 아래 면에서 산란된 광점의 영상이 물체의 두께에 상관없이 상기한 하나의 선형 어레이 센서에 항상 정확히 맺도록 펜타프리즘을 사용한 영상 단계를 특징으로 하는 광학식 두께 측정 방법