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하부기판; 상기 하부기판 상에 형성되어, 무선으로 펄스 신호를 송수신하는 안테나; 상기 안테나로부터 수신한 펄스 신호를 표면 탄성파로 변환하여 출력하는 제1 IDT(Inter Digital Transducer); 상기 제1 IDT와 소정거리 이격되어 상기 하부기판 상에 장착되며, 상기 표면 탄성파를 반사시켜 RFID(Radio Frequency Identification) 정보를 측정할 수 있는 복수의 리플렉터들을 구비하는 RFID 태그용 리플렉터부; 및 상기 제1 IDT와 소정거리 이격되어 상기 하부기판 상에 장착되며, 상기 표면 탄성파를 반사시켜 온도를 측정할 수 있는 복수의 리플렉터들을 구비하는 온도 센서용 리플렉터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 IDT에 접속되어 상기 하부기판 상에 형성된 한 쌍의 금속 막대; 상기 금속 막대 위에 설치되는 상부기판; 상기 상부기판 상에 형성되어, 상기 안테나로부터 상기 금속 막대를 통해 수신된 펄스 신호를 표면 탄성파로 변환하여 출력하는 제2 IDT; 상기 제2 IDT와 소정거리 이격되어 상기 상부기판 상에 장착되며, 상기 표면 탄성파를 반사시켜 압력을 측정할 수 있는 복수의 리플렉터들을 구비하는 압력 센서용 리플렉터부; 및 상기 상부기판을 지지하고, 상기 상부기판과 하부기판 사이의 4개의 면을 밀봉하면서 상기 금속 막대를 둘러싸도록 형성된 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제2항에 있어서, 상기 하부기판 및 상기 상부기판은, 압전재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제3항에 있어서, 상기 압전재료는 LiNbO3, LiTaO3 및 석영(quartz) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제2항에 있어서, 상기 제1 IDT 및 상기 제2 IDT는, 단상 단방향 트랜스듀서(SPUDT; single phase unidirectional transducer) 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제1항에 있어서, 상기 안테나는, 상기 하부기판 상에서 차지하는 면적을 최소화하면서 안테나 길이를 최대화하기 위해, 상기 제1 IDT 및 상기 리플렉터 주위를 코일형태로 감도록 형성되는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제1항에 있어서, 상기 안테나는, 중간 주파수가 2
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제1항에 있어서, 상기 RFID 태그용 리플렉터부는, 하나 이상의 리플렉터들로 구성되는 하나 이상의 리플렉터 그룹들을 구비하고, 상기 그룹들 각각에 대해 RFID를 판독하여 RFID의 경우수를 최대화하는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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제1항에 있어서, 상기 RFID 태그용 리플렉터부 및 온도 센서용 리플렉터부는 2개의 전파 트랙을 사용하는 것을 특징으로 하는 통합형 표면 탄성파 기반 마이크로센서
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