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진행파(Progressive wave)인 제1표면탄성파를 발생시키고, 소정 위치에 놓인 금속 점 층(Metallic dot layer)에서 상기 제 1표면탄성파의 속도성분과 인가된 각속도의 상호작용으로 코리올리힘(Coriolis force)을 발산시키며, 상기 코리올리힘에 의해 제1표면탄성파의 진행속도를 변화시켜 제2표면탄성파를 발생시키는 표면탄성파센싱발진기 ;
진행파(Progressive wave)인 제3표면탄성파를 발생시키는 표면탄성파기준발진기 ; 및
상기 제3표면탄성파와 상기 제2표면탄성파의 주파수 차이를 측정하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 측정회로부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1항에 있어서,
상기 표면탄성파센싱발진기는 일단에 입력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 두고 타단에 상기 제 1표면탄성파 및 제 2표면탄성파를 흡수부를 포함하는 2포트 방식이며, 상기 입력 전극과 상기 흡수부 사이에 상기 금속 점 층(Metallic dot layer)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 표면탄성파기준발진기는 일단에 입력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 두고 타단에 상기 제 3표면탄성파를 흡수부를 포함하는 2포트 방식인것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 표면탄성파센싱발진기와 상기 표면탄성파기준발진기의 중간에 위치하여 상기 제2표면탄성파의 상기 표면탄성파기준발진기로의 진행을 막는 배리어;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 제 1표면 탄성파의 속도성분의 방향과 상기 인가된 각속도의 방향 및 상기 코리올리힘의 방향은 서로 직각 상태에 있는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 입력 전극은 단일위상 한방향 변환기 (SPUDT : Single phase unidirectional transducer)의 구조인 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 표면탄성파센싱발진기 및 상기 표면탄성파기준발진기는 128° YX LiNbO3 의 압전 기판위에 생성된 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 표면탄성파센싱발진기 및 상기 표면탄성파기준발진기의 발진 주파수는 동일한 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 금속 점 층(Metallic dot layer)은 128° YX LiNbO3 의 압전 기판위에 Cr/Au를 리프트-오프(lift-off)공정을 통하여 소정높이로 증착되는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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제 1 항에 있어서,
상기 코리올리힘의 방향과 상기 제2표면탄성파의 진행방향이 일치하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 표면탄성파(SAW) 자이로스코프
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진행파인 제1표면탄성파 및 제3표면탄성파를 각각 생성하는 표면탄성파 생성단계;
소정 위치에 놓인 금속 점 층(Metallic dot layer)에서 상기 제 1표면 탄성파의 속도성분과 인가된 각속도의 상호작용으로 코리올리힘(Coriolis force)을 발산시키는 코리올리힘 생성단계;
상기 코리올리힘에 의해 상기 제1표면탄성파의 진행속도를 변화시켜 제2표면탄성파를 생성하는 제 2표면 탄성파 생성단계; 및
상기 제3표면탄성파와 상기 제2표면탄성파의 주파수 차이를 측정하여 상기 인가된 각속도 크기를 측정하는 각속도 측정 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 제 1 표면탄성파는 일단에 입력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 타단에 상기 제 1 표면탄성파를 흡수하는 흡수부를 위치시키고, 상기 입력 전극과 상기 흡수부 사이에 상기 금속 점 층(Metallic dot layer)이 놓인 표면탄성파 센싱발진기로부터 생성되는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 제 3 표면탄성파는 일단에 입력 전극(IDT : Inter Digital Transducer)을 타단에 상기 제 3 표면탄성파를 흡수하는 흡수부를 위치시킨 표면탄성파기준발진기로부터 생성되는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 제2표면탄성파가 상기 제3표면탄성파에 간섭을 일으키지 않게 하는 제 2표면탄성파 흡수단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 제 1표면 탄성파의 속도성분의 방향과 상기 인가된 각속도의 방향 및 상기 코리올리힘의 방향은 서로 직각 상태에 있는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 12항 또는 제 13항 에 있어서,
상기 입력 전극은 단일위상 한방향 변환기 (SPUDT : Single phase unidirectional transducer)의 구조인 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 12 항에 있어서,
상기 표면탄성파센싱 발진기는 128° YX LiNbO3 의 압전 기판위에 생성된 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 13 항에 있어서,
상기 표면탄성파기준 발진기는 128° YX LiNbO3 의 압전 기판위에 생성된 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 금속 점 층(Metallic dot layer)은 128° YX LiNbO3 의 압전 기판위에 Cr/Au를 리프트-오프(lift-off)공정을 통하여 소정높이로 증착되는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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제 11 항에 있어서,
상기 코리올리힘의 방향과 상기 제2표면탄성파의 진행방향이 일치하는 것을 특징으로 하는 진행파를 이용한 각속도 측정 방법
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