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인듐 알콕사이드 화합물의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014033221
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요약 본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 서로 다른 알콕사이드를 리간드로 갖는 신규의 인듐 알콕사이드 화합물 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. [화학식 1] In[O-A-NR1R2]x[OR3]3-x [상기 화학식 1에서, A는 하나 이상의 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기로 치환되거나 치환되지 않는 C2-C5의 알킬렌이고; R1 내지 R3은 서로 독립적으로 C1-C5의 선형 또는 분지형 알킬기이며; x는 1 또는 2의 정수이다.] 본 발명에 따르는 인듐 알콕사이드 화합물은 인듐 선구 물질로서 상온에서 액체 상태로 존재하며 증기압이 매우 높아 인듐을 포함하는 물질의 박막 증착 또는 여러 가지 합금 증착에 인듐 원료 물질로 유용하게 사용될 수 있다. 인듐, 인듐 알콕사이드 화합물
Int. CL C07F 5/00 (2006.01) H01L 31/0392 (2006.01)
CPC C07F 5/003(2013.01)
출원번호/일자 1020090030679 (2009.04.09)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1082330-0000 (2011.11.04)
공개번호/일자 10-2010-0112260 (2010.10.19) 문서열기
공고번호/일자 (20111110) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.09)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
2 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
6 정인경 대한민국 대구광역시 달서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)듀켐바이오 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0213350-18
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0080474-90
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.04.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0268440-55
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0268457-20
5 등록결정서
Decision to grant
2011.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0616066-47
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
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번호 청구항
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4 4
하기 화학식 3의 인듐 화합물과 하기 화학식 4의 알코올을 반응시켜 하기 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 화학식 3의 인듐 화합물은 하기 화학식 5의 인듐 아마이드 화합물과 하기 화학식 6의 아미노 알코올을 반응시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
6 6
하기 화학식 6의 아미노 알코올과 하기 화학식 7의 인듐 화합물을 반응시켜 제 4항에 따른 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 화학식 7의 인듐 화합물은 하기 화학식 4의 알코올과 하기 화학식 5의 인듐 아마이드 화합물을 반응시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
8 8
하기 화학식 8의 인듐 화합물과 하기 화학식 9의 알코올 금속염을 반응시켜 제 4항에 따른 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
9 9
제 8항에 있어서, 상기 화학식 8의 인듐 화합물은 하기 화학식 10의 인듐 할라이드 화합물과 하기 화학식 11의 알코올 금속염을 반응시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
10 10
하기 화학식 11의 알코올 금속염과 하기 화학식 12의 인듐 화합물을 반응시켜 제 4항에 따른 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
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제 10항에 있어서, 상기 화학식 12의 인듐 화합물은 화학식 9의 알코올 금속염과 하기 화학식 10의 인듐 할라이드 화합물을 반응시켜 제조하는 것을 특징으로 하는 화학식 1의 인듐 알콕사이드 화합물을 제조하는 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업기술연구회 한국화학연구원 기관고유사업 투명 전자소자용 전구체 및 금속 산화물 성막기술 개발(창의적연구)