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전도성 박막의 면저항 측정장치에 있어서,면저항 측정용 측정시료(1)를 안착시키고, 반데르포우법을 적용하기 위해 측정시료(1)의 4지점을 프로브(2)로 접촉시켜 전류를 공급하고 전압을 측정하기 위한 프로브 스테이션(10)과;상기 프로브 스테이션(10)의 전류공급단자에 연결되어 프로브 스테이션(10)을 통해 측정시료(1)로 전류를 공급하기 위한 전류원(20)과;상기 프로브 스테이션(10)의 전압측정단자에 연결되어 전압측정단자에서 측정된 전압을 증폭하고 디지털로 변환하기 위한 A/D 컨버터(30)와; 상기 프로브 스테이션의 4개 단자 중 임의의 동일방향 2개의 프로브(2)에 전류를 공급하고 나머지 반대방향 2개의 프로브(2)를 통해 전압을 측정하는 과정을 반복하고 전류원(20)의 전류 공급을 제어하도록 연결되며, 상기 전압의 측정에 의해 수직축 방향의 저항과 수평축 방향의 저항을 각각 측정 연산한 후 측정시료(1)의 면저항을 연산하는 CPU(40);를 포함하는 것을 특징으로 하는 반데르포우 측정방법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 프로브 스테이션(10)은각 구성이 설치되기 위한 내부의 공간이 형성된 프레임(11)과;상기 프레임(11)의 하측에 설치되고, 상면에 측정시료(1)가 얹혀져 상하로 승강되어 측정위치가 설정될 수 있도록 한 스테이지(12)와;상기 스테이지(12)의 외곽 모서리 일지점에 기준부(51)가 고정설치되고, 상기 기준부(51)를 기준으로 스테이지(12)의 X축 변과, Y축 변에 각각 축선을 따라 이동되는 축선이동부(52)가 설치되며, 상기 X축과 Y축의 축선이동부(52)에 각각 끝단이 결합된 X축, Y축 이송로드(55)의 교차지점에 결합되어 축선이동부(52)와 함께 X축, Y축 모든 방향으로 이동되는 교차이동부(53)가 설치된 좌표이송유닛(50)과;상기 기준부(51)와 각 축선이동부(52) 및 교차이동부(53)에 결합되고, 각각의 하측부에 측정시료(1)에 접촉되기 위한 프로브(2)가 장착된 프로브유닛(60);을 포함하는 것을 특징으로 하는 반데르포우 측정방법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정장치
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제 2 항에 있어서,상기 스테이지(12)의 하면과 프레임(11)의 사이에는 측정시료(1)가 얹혀진 스테이지(12)의 높이를 조절하기 위한 높이조절부(70)가 설치되며,상기 높이조절부(70)는, 스테이지(12) 하면과 프레임(11)에 각각 양단이 지지된 볼스크류기구(71)와;상기 볼스크류기구(71)에 구동력을 전달하기 위해 볼스크류기구(71)와 동력전달 가능하게 결합되고 일끝단이 프레임(11)의 외부로 돌출되도록 구성된 동력전달로드(72);를 포함하는 것을 특징으로 하는 반데르포우 측정방법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정장치
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전도성 박막의 면저항 측정방법에 있어서,측정시료(1)의 일측 모서리 지점이 프로브 스테이션(10)의 기준부(51) 하측에 위치되도록 하여 측정지점의 기준점(0,0)이 설정되도록 하며 측정시료(1)를 스테이지(12)에 안착시키는 단계와;상기 기준점(0,0)을 포함하여 4지점(0,0), (d1,0), (0,d2), (d1,d2)의 측정지에 각각 프로브(2)가 위치될 수 있도록 하기 위해, X축과 Y축의 축선이동부(52)의 프로브유닛(60)을 각각 이동시켜 각 축선이동부(52)와 교차이동부(53)의 프로브유닛(60)이 각 지점에 위치되도록 하거나, 교차이동부(53)의 프로브유닛(60)을 이동시켜 각 축선이동부(52)의 프로브유닛(60)이 각 지점에 위치되도록 하는 단계와;상기 각 측정지점(0
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제 4 항에 있어서, 상기 면저항은,프로브 스테이션(10)의 4개의 프로브(2) 중 임의의 동일방향 2개의 프로브(2)에 전류를 공급하고, 나머지 반대방향 2개의 프로브(2)에서 전압을 측정하여, 수직축 방향의 저항과, 수평축 방향의 저항을 수학식 1과 같이 각각 연산하고, 상기 연산된 수직축 방향의 저항과 수평축 방향의 저항을 수학식 2와 같이 측정된 저항값으로 연산하여, 수학식 3과 같이 면저항으로 연산되는 것을 특징으로 하는 반데르포우법을 이용한 전도성 박막의 면저항 측정방법
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