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1
전력을 공급하는 제1 전원부;
상기 제1 전원부와 직렬 연결되는 제1 정합회로부;
제1 차 코일 및 제2 차 코일을 포함하는 변압부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 유도 코일부;
상기 유도 코일부와 상기 변압부를 연결하는 유도 코일 연결부; 및
상기 유도 코일 연결부를 덮고 있는 절연부를 포함하되,
상기 유도 코일 연결부는 상기 챔버부를 관통하여 배치되고,
상기 제1 차 코일은 상기 제1 정합회로부와 전기적으로 연결되고, 상기 제2 차 코일은 상기 유도 코일부와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 플라즈마 발생 장치
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| 2 |
2
제 1항에 있어서,
상기 제2 차 코일의 일단의 상기 유도 코일부의 일단에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은 상기 유도코일부의 타단에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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| 3 |
3
제 1항에 있어서,
제1 차 코일의 권선수는 상기 제2 코일의 권수보다 큰 것을 특징으로 플라즈마 발생 장치
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4
제 1항에 있어서,
상기 유도 코일부는 원 턴 안테나, 복수 턴 안테나, 스파이얼 안테나 및 안장형 안테나 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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5
전력을 공급하는 제1 전원부;
상기 제1 전원부와 직렬 연결되는 제1 정합회로부;
제1 차 코일 및 제2 차 코일을 포함하는 변압부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 유도 코일부; 및
상기 유도 코일부와 상기 변압부를 연결하는 유도 코일 연결부를 포함하고,
상기 제1 차 코일은 상기 제1 정합회로부와 전기적으로 연결되고, 상기 제2차 코일은 상기 유도 코일부와 전기적으로 연결되고,
상기 챔버부는 챔버 몸통 및 챔퍼 상판을 포함하고, 상기 유도 코일 연결부는 상기 챔버 상판 또는 상기 챔버 몸통을 관통하여 배치되고,
상기 유도 코일 연결부는 상기 유도 코일부와 결합하는 것을 특징으로 하는 는 플라즈마 발생 장치
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6
제 1항에 있어서,
상기 유도 코일부는 제1 유도 코일부 및 제2 유도 코일부를 포함하되,
상기 제1 유도 코일부의 내 반경은 상기 제2 유도 코일부의 외 반경보다 큰 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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7
제 6항에 있어서,
상기 제1 유도 코일부와 상기 제2 유도 코일부의 전류의 방향 또는 반대 방향으로 흐르도록 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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8
제 6항에 있어서,
상기 변압부의 2차 코일은 제1 결합부 및 제2 결합부를 포함하되,
상기 제1 결합부는 상기 제1 유도 코일부와 전기적으로 연결되고, 상기 제2 결합부는 상기 제2 유도 코일부 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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9
제 1항에 있어서,
상기 유도 코일부는 복수의 권선수를 가지는 안테나이고, 상기 권선수가 증가함에 따라 안테나의 반경이 증가하거나 감소하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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10
제 1항에 있어서,
전극부를 더 포함하되,
상기 제2 차 코일의 일단은 상기 유도 코일부의 일단과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은 상기 유도 코일부의 타단 및 상기 전극부와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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11
제 1항에 있어서,
전극부 및 축전기를 더 포함하되,
상기 제2 차 코일의 일단은 상기 유도 코일부의 일단과 전기적으로 연결되고, 상기 유도 코일부의 타단은 상기 축전기와 전기저으로 연결되고, 상기 제2 차 코일의 타단은 상기 전극부와 전기적으로 연결되고, 상기 전극부는 상기 챔버부의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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| 12 |
12
제 1 항에 있어서,
전력을 공급하는 제2 전원부,
상기 제2 전원부와 직렬연결되는 제2 정합회로부; 및
상기 제2 정합회로부와 직렬 연결되는 전극부를 더 포함하되,
상기 전극부는 상기 챔버부 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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13
제 1 항에 있어서,
상기 변압부의 상기 제1 차 코일 및 제2차 코일은 솔레노이드 형태이고, 상기 제2 차 코일은 상기 제1 차 코일을 덮도록 감겨있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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14
제 13 항에 있어서,
상기 제 1차 코일 내부에 자성 코어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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15
제 1 항에 있어서,
상기 변압부의 제2차 코일은 상기 제1 차 코일과 중심축이 일치하도록 배치되고, 상기 제1 코일과 상기 제2 차 코일 사이에 절연체가 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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16
제 15 항에 있어서,
상기 제1 차 코일 및 상기 제2 차 코일은 솔레노이드 형태인 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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