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1
전력을 공급하는 전원부;
상기 전원부와 직렬연결되는 정합회로부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 외부에 배치되는 유도 코일부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 전극부; 및
상기 유도코일부 또는 상기 전극부와 직렬연결되는 가변 소자부를 포함하되,
상기 유도코일부 및 상기 전극부는 상호 병렬연결되어 상기 정합회로부에 연결되고, 상기 가변소자부는 상기 유도 코일부와 상기 전극부의 병렬 공명주파수를 상기 전원부의 구동 주파수와 일치시키고,
상기 챔버부는 챔버 몸체와 챔버 상판을 포함하되,
상기 전극부는 상기 챔버 상판의 하부에 배치되고,
상기 전극부의 반경은 상기 유도 코일부의 반경보다 작은 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 2 |
2
제 1 항에 있어서,
상기 유도코일부에 흐르는 전류의 위상은 상기 전극부에 흐르는 전류의 위상과 180도 차이가 있는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 3 |
3
제 1 항에 있어서,
상기 유도 코일부의 일단은 상기 가변 소자부와 연결되고, 상기 유도 코일부의 타단은 접지되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 4 |
4
제 1 항에 있어서,
상기 유도 코일부의 일단은 상기 가변 소자부와 연결되고, 상기 유도 코일부의 타단은 상기 정합회로부와 연결되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 5 |
5
제 1 항에 있어서,
상기 가변소자부는 가변 축전기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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6
제 1 항에 있어서,
상기 유도 코일부는 상기 챔버 상판 상에 배치되고, 상기 전극부는 상기 챔버 상판의 아래에 배치되고, 상기 챔버 상판은 유전체인 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 7 |
7
제 1 항에 있어서,
상기 챔버 몸체는 챔버 상부 몸체 및 챔버 하부 몸체를 포함하되,
상기 챔버 상부 몸체는 유전체이고, 상기 유도 코일부는 상기 챔버 상부 몸체의 외부 측면에 배치되고, 상기 전극부는 상기 챔버 상판의 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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| 8 |
8
제 7 항에 있어서,
상기 챔버 상판은 도전체인 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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9
전력을 공급하는 전원부;
상기 전원부와 직렬연결되는 정합회로부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 외부에 배치되는 유도 코일부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 전극부; 및
상기 유도코일부 또는 상기 전극부와 직렬연결되는 가변 소자부를 포함하되,
상기 유도코일부 및 상기 전극부는 상호 병렬연결되어 상기 정합회로부에 연결되고, 상기 가변소자부는 상기 유도 코일부와 상기 전극부의 병렬 공명주파수를 상기 전원부의 구동 주파수와 일치시키고,
상기 유도 코일부는 제1 안테나, 제2 안테나, 및 리액티브 가변 축전기를 포함하되,
상기 제1 안테나와 상기 제2 안테나는 상호 병렬연결되고, 상기 리액티브 가변 축전기는 상기 제1 안테나와 직렬연결되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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10
제 9 항에 있어서,
상기 챔버부는 챔버 상부 몸체, 챔버 하부 몸체, 및 챔버 상판을 포함하되,
상기 챔버 상부 몸체 및 상기 챔버 상판은 유전체를 포함하고,
상기 제1 안테나는 상기 챔버 상부 몸체의 외부 측면에 배치되고, 상기 제2 안테나는 상기 챔버 상판 상에 배치되고,
상기 전극부는 상기 챔버 상판의 아래에 배치되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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11
삭제
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12
전력을 공급하는 전원부;
상기 전원부와 직렬연결되는 정합회로부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 외부에 배치되는 유도 코일부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 전극부; 및
상기 유도코일부 또는 상기 전극부와 직렬 연결되는 가변 소자부를 포함하되,
상기 유도코일부 및 상기 전극부는 상호 병렬 연결되어 상기 정합회로부에 연결되고, 상기 가변소자부는 상기 유도 코일부와 상기 전극부의 병렬 공명주파수를 상기 전원부의 구동 주파수와 일치시키고,
파라데이 쉴드부를 더 포함하되,
상기 챔버부는 챔버 몸통와 상기 챔버 몸통 상에 배치되는 챔버 상판을 포함하되, 상기 챔버 상판은 유전체이고,
상기 유도 코일부는 상기 챔버 상판 상에 배치되고, 상기 파라데이 쉴드부는 상기 유도 코일부와 상기 챔버 상판 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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13
삭제
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14
전력을 공급하는 전원부;
상기 전원부와 직렬연결되는 정합회로부;
플라즈마를 감금하는 챔버부;
상기 챔버부의 외부에 배치되는 유도 코일부;
상기 챔버부의 내부에 배치되는 전극부; 및
상기 유도코일부 또는 상기 전극부와 직렬연결되는 가변 소자부를 포함하되,
상기 유도코일부 및 상기 전극부는 상호 병렬연결되어 상기 정합회로부에 연결되고, 상기 가변소자부는 상기 유도 코일부와 상기 전극부의 병렬 공명주파수를 상기 전원부의 구동 주파수와 일치시키고,
변압기를 더 포함하되,
상기 변압기의 1차 코일의 일단은 상기 정합회로부에 연결되고 상기 변압기의 1차 코일의 타단은 접지되고,
상기 변압기의 2차 코일의 일단은 상기 유도 코일부에 전기적으로 연결되고, 상기 변압기의 2차 코일의 타단은 상기 전극부에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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15
제 14 항에 있어서,
상기 챔버부는
챔버 몸통와 상기 챔버 몸통 상에 배치되는 챔버 상판을 포함하되, 상기 챔버 상판은 유전체이고,
상기 유도 코일부는 상기 챔버 상판 상에 배치되고, 상기 전극부는 상기 챔버 상판 아래에 배치되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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16
제 14 항에 있어서,
상기 유도 코일부의 일단은 상기 변압기의 2차 코일과 연결되고, 상기 유도 코일부의 타단은 상기 가변 소자부의 일단과 연결되고, 상기 가변소자부의 타단은 접지되는 것을 특징으로 하는 고전력 플라즈마 발생 장치
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