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금전극 표면을 갖는 수정진동자;
상기 수정진동자의 금전극 표면 가장자리에 접촉되며, 일면에 상기 금전극 표면의 온도를 함께 측정하기 위한 백금저항온도소자가 부착되는 수정진동자홀더;
액체질소를 이용하여 상기 수정진동자 홀더의 온도를 조절함으로써 상기 금전극 표면의 온도를 조절하는 열흡수장치; 및
상기 열흡수장치에 액체질소를 자동으로 공급하는 액체질소공급장치;를 포함하되,
상기 금전극 표면의 온도에 따른 상기 수정진동자의 공명주파수 변화와 상기 백금저항온도소자의 온도를 측정하여 노점을 결정하며, 상기 노점은 -90℃까지 가능한 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서
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제 1 항에 있어서,
상기 수정미소저울 노점센서는 열흡수장치에 심어져 있는 온도센서를 이용해 온도를 이용하여 상기 액체질소공급장치의 출력을 제어하는 온도조절기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서
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제 2 항에 있어서,
상기 수정미소저울 노점센서는 상기 수정진동자와 외부의 주파수 카운터 장치를 연결하는 진동수 측정회로선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서
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삭제
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액체질소공급장치로부터 공급되는 액체질소를 이용하여 금전극 표면을 가지는 수정진동자 및 수정진동자 홀더의 온도를 하강시킴에 따라 발생한 상기 수정진동자의 공명주파수 및 상기 수정진동자 홀더의 온도를 측정하는 단계;
상기 수정진동자 홀더의 온도를 상기 수정진동자의 금전극 표면 온도로 보정하는 단계;
상기 수정진동자의 온도 하강에 따른 상기 수정진동자의 공명주파수에서 온도효과를 보정하는 단계; 및
상기 온도 보정 및 공명주파수 보정을 통해 얻어진 온도 변화에 따른 공명주파수 변화를 나타내는 제1 특성곡선을 이용하여 노점을 결정하는 단계;를 포함하되,
상기 노점은 -90℃까지 가능한 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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제 5 항에 있어서,
상기 온도 측정 단계는 상기 수정진동자 홀더의 온도를 측정하여 상기 수정진동자의 금전극 표면 온도를 간접적으로 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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제 5 항에 있어서,
상기 온도 보정은 상기 수정진동자 홀더의 온도에 따른 상기 수정진동자의 금전극 표면 온도와 상기 수정진동자 홀더 온도의 차이를 나타내는 제2 특성곡선을 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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제 7 항에 있어서,
상기 제2 특성곡선은 아래의 수학식으로 표현되는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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제 7 항에 있어서,
상기 공명주파수 보정은 건조공기의 온도에 따른 상기 수정진동자의 공명주파수 값을 이용하거나, 또는 측정하고자 하는 노점보다 낮은 노점을 가지는 습공기의 온도에 따른 상기 수정진동자의 공명주파수 값을 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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10
제 7 항에 있어서,
상기 노점은 상기 제1 특성곡선의 일차 미분에서 얻어지는 기울기가 갑자기 변하는 부분에 대한 온도인 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 극저노점 측정방법
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