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공기베어링 응용 소형 다축 스테이지 기술

  • 기술번호 : KST2014033395
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이동자와 고정자 사이의 자기력을 이용하여 공기베어링의 예압을 발생시키면서 한편 공극에서의 자기력을 형성하여, 코일의 전류에 따라 이송력을 발생시키고, 장치의 소형화를 이룰 수 있는 스테이지 장치에 관한 것이다.본 발명은 하방으로 대향되게 돌출되어 구비된 가이드면과 내측 중앙에 장홈이 구비된 스테이지와, 상기 스테이지 하부에 설치되고 상방으로 대향되게 돌출되어 구비된 가이드면과 내측 중앙에 장홈이 형성된 베이스와, 상기 스테이지의 장홈에 고정되는 이동자철심과, 상기 베이스의 장홈에 구비되는 고정자철심과, 상기 고정자철심의 상면에 고정되는 코일과, 상기 이동자철심 하면에 고정되는 영구자석로 구성되는 선형모터와, 상기 스테이지의 외측면 일정거리에 고정되는 위치센서와, 서로 양측으로 대향되게 설치되고 상기 스테이지 내측 하면에서 고정되는 수직방향공기베어링와, 상기 스테이지 가이드면 내측면에 대향되게 설치되는 수평방향공기베이링로 구성되는 공기베어링를 포함하여 구성한다.본 발명은 높은 정밀도와 이송속도를 얻고, 작은 크기에 구동장치가 일체화되며, 이송중의 코깅이 없어 운동 오차가 발생하지 않는 효과가 있다.이송장치, 공기베어링, 자기예압, 리니어모터
Int. CL B81B 5/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020050110241 (2005.11.17)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0761690-0000 (2007.09.19)
공개번호/일자 10-2007-0052524 (2007.05.22) 문서열기
공고번호/일자 (20070928) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.11.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노승국 대한민국 대전광역시 유성구
2 박종권 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이풍우 대한민국 서울특별시 강남구 양재대로 **길** *층(일원동)(특허법인 대한(양재분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 송영찬 인천광역시 부평구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2005-0662033-10
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2006.10.19 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2006-0753997-44
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0655116-28
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2006.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0822267-30
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0017965-65
6 의견서
Written Opinion
2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0017969-47
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0106536-04
8 의견서
Written Opinion
2007.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0306377-29
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.04.23 보정각하 (Rejection of amendment) 1-1-2007-0306376-84
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0343414-80
11 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2007.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0343413-34
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.08.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2007-0033808-76
13 등록결정서
Decision to grant
2007.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0493027-42
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스테이지장치(100)에 있어서; 하방으로 대향되게 돌출된 가이드면(11)과 내측 중앙에 구비된 장홈(12)으로 구성되는 스테이지(10)와, 상기 스테이지(10) 하부에 설치되고 상방으로 대향되게 돌출된 가이드면(21)과 내측 중앙에 구비된 장홈(22)으로 구성되는 베이스(20)와, 상기 스테이지(10)의 장홈(12)에 고정되는 이동자철심(31)과, 상기 베이스(20)의 장홈(22)에 구비되는 고정자철심(32)과, 상기 고정자철심(32)의 상면에 고정되는 코일(34)과, 상기 이동자철심(31) 하면에 고정되는 영구자석(33)으로 구성되는 선형모터(30)와, 상기 스테이지(10)의 외측면 일정거리에 고정되는 위치센서(40)와, 서로 양측으로 대향되게 설치되고 상기 스테이지(10) 내측 하면에서 고정되는 수직방향공기베어링(51)와, 상기 스테이지(10) 가이드면(11) 내측면에 대향되게 설치되는 수평방향공기베이링(52)로 구성되는 공기베어링(50)을 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 영구자석 이동형 선형모터와 공기베어링을 이용한 초소형 스테이지 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 스테이지(10)는 상기 공기베어링(50)으로 지지되는 것을 특징으로 하는 영구자석 이동형 선형모터와 공기베어링을 이용한 초소형 스테이지 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 이동자철심(31)과 영구자석(33)은 상기 고정자철심(32)과 상기 코일(34)의 상방에 설치되고 서로 마주보는 구성인 것을 특징으로 하는 영구자석 이동형 선형모터와 공기베어링을 이용한 초소형 스테이지 장치
4 4
제 1항에 있어서 상기 영구자석(33)은 상기 이동자철심(31)의 길이방향으로 양측에 구비되고 극성은 서로 반대 극성을 이루는 것을 특징으로 하는 영구자석 이동형 선형모터와 공기베어링을 이용한 초소형 스테이지 장치
5 5
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.