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전하 주입성을 향상시킨 유기박막트랜지스터 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014033457
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판상의 소스/드레인 전극 중 한쪽 전극에만 CS2C03 등의 용액을 도포하여 전자주입성을 향상시킨 유기박막트랜지스터 및 그를 이용한 금속산화막반도체(CMOS) 디지털 회로에 관한 것으로 기판; 상기 기판 상에 위치한 게이트 전극; 상기 게이트 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치한 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상의 일부 영역에 서로 이격되어 위치하는 소스/드레인 전극; 상기 소스/드레인 전극 중 어느 하나에만 도포된 전자주입층; 상기 전자주입층을 포함하는 기판 상에 위치하는 유기반도체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기박막트랜지스터로 구성된다. 본 발명의 유기박막트랜지스터를 사용하면 소스/드레인 전극과 N-형 과 P-형반도체 사이의 접촉저항을 대폭 줄일 수 있어, 소자의 N형과 P형의 전하 주입을 향상시킨 양극성 유기박막 트랜지스터를 제공할 수 있다. 또한 소스/드레인 전극 중 어느 하나에만 선택적으로 용액을 도포함으로써 제조공정을 단순화하고 제조원가를 줄일 수 있는 경제적인 효과도 기대된다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01)
CPC H01L 51/105(2013.01) H01L 51/105(2013.01) H01L 51/105(2013.01) H01L 51/105(2013.01)
출원번호/일자 1020100042894 (2010.05.07)
출원인 한밭대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1101479-0000 (2011.12.26)
공개번호/일자 10-2011-0123415 (2011.11.15) 문서열기
공고번호/일자 (20120103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.07)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노용영 대한민국 대전광역시 유성구
2 백강준 대한민국 전라남도 보성군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허수준 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독약품빌딩)(특허법인(유한) 다래)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한밭대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0294126-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0065875-05
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0664921-93
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0664912-82
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0480467-41
7 등록결정서
Decision to grant
2011.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0766470-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085888-54
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5058417-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5065033-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.12 수리 (Accepted) 4-1-2019-5072792-98
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번호 청구항
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기판;상기 기판상에 위치한 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치한 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상의 일부 영역에 서로 이격되어 위치하는 소스/드레인 전극;상기 소스/드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 도포된 전자주입층;상기 소스/드레인 전극 중 나머지 전극에 도포된 정공주입층;상기 전자주입층의 기판 상에 위치하는 N-형 유기반도체층상기 정공주입층의 기판 상에 위치하는 P-형 유기반도체층;상기 N-형, P-형 유기반도체를 포함한 디지탈 회로로 구성되는 금속산화막반도체(CMOS) 디지털 회로
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제 15항에 있어서,상기 전자주입층은 Cs2CO3, CsF, Rb2CO3, K2CO3, Na2CO3, LiF, CaF2, MgF2, NaCl, MgO 에서 선택되는 금속염 용액이며,상기 정공주입층은 V2O5, MoO3, F4TCNQ 중에서 선택되는 금속염 용액인 것을 특징으로 한 금속산화막반도체(CMOS) 디지털 회로
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기판;상기 기판상에 위치한 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치한 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상의 일부 영역에 서로 이격되어 위치하는 소스/드레인 전극;상기 소스/드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 도포된 전자주입층;상기 소스/드레인 전극 중 나머지 전극에 도포된 정공주입층;상기 전자주입층의 기판상에 위치하는 N-형 유기반도체층상기 정공주입층의 기판상에 위치하는 P-형 유기반도체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 및 정공 주입성능이 향상된 양극성 유기박막트랜지스터
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제 17항에 있어서,상기 전자주입층은 Cs2CO3, CsF, Rb2CO3, K2CO3, Na2CO3, LiF, CaF2, MgF2, NaCl, MgO 에서 선택되는 금속염 용액이며,상기 정공주입층은 V2O5, MoO3, F4TCNQ 중에서 선택되는 금속염 용액인 것을 특징으로 한 전자 및 정공 주입성능이 향상된 양극성 유기박막트랜지스터
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기판;상기 기판상에 위치한 게이트 전극;상기 게이트 전극을 포함하는 기판 전면에 걸쳐 위치한 게이트 절연막;상기 게이트 절연막 상의 일부 영역에 서로 이격되어 위치하는 소스/드레인 전극;상기 소스/드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 도포된 전자주입층;상기 소스/드레인 전극 중 나머지 전극에 도포된 정공주입층;상기 전자주입층의 기판 상에 위치하는 N-형 유기반도체층상기 정공주입층의 기판 상에 위치하는 P-형 유기반도체층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 및 정공 주입성능이 향상된 유기발광트랜지스터
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제 19항에 있어서,상기 전자주입층은 Cs2CO3, CsF, Rb2CO3, K2CO3, Na2CO3, LiF, CaF2, MgF2, NaCl, MgO 에서 선택되는 금속염 용액이며,상기 정공주입층은 V2O5, MoO3, F4TCNQ 중에서 선택되는 금속염 용액인 것을 특징으로 한 전자 및 정공 주입성능이 향상된 유기발광트랜지스터
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