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기 설정된 출력 에너지보다 큰 고에너지, 고전류 밀도를 갖는 빔을 인출하는 다중 인출구를 갖는 플라즈마 전극과 빔인출 전극으로 구성되는 이온원;
상기 이온원과 평행하게 이격되어 배치되며 상기 빔들을 감속시키면서 에너지를 줄이는 다중구(多重口) 구조의 제1 감속 전극;
상기 제1 감속 전극과 평행하게 이격되어 배치되며 상기 감속된 빔을 집속하는 다중구 구조의 정전 렌즈;
상기 정전 렌즈와 평행하게 이격되어 배치되며 상기 집속된 빔을 다시 감속시키면서, 인가된 전압에 의해 상기 빔의 최종 에너지를 제어하는 다중구 구조의 제2 감속 전극
을 포함하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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청구항 1에 있어서,
상기 고에너지 빔은 에너지가 2000eV 이상이고, 상기 기 설정된 출력 에너지는 100eV 이하인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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3
청구항 1에 있어서,
상기 제1 감속 전극과 상기 정전 렌즈 간의 간격은 3mm ~ 5mm이고, 상기 정전 렌즈와 상기 제2 감속 전극 간의 간격은 3mm ~ 5mm인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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4
청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2 감속 전극의 두께는 2mm ~ 3mm인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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5
청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2 감속 전극을 이루는 물질은 구리 또는 스테인레스 스틸인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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6
청구항 1에 있어서,
상기 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치는 적어도 3개 이상의 감속 전극과 2개 이상의 정전 렌즈를 포함하며, 상기 감속 전극과 정전 렌즈는 교대로 평행하게 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 제조 장치
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7
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항의 제조 장치에 의해 제조된 저에너지·대전류·대면적 빔을 수송하는 장치로써,
상기 제2 감속전극과 평행하게 이격되어 배치되며, 한 쌍의 다중구(多重口) 구조의 가속 전극 및 감속 전극으로 구성된 저에너지 이온 빔 렌즈를 연속적으로 배열하여 빔전류의 손실을 줄이면서 기 설정된 위치까지 수송하는 것을 특징으로 하는 저에너지·대전류·대면적 빔 수송 장치
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8
청구항 7에 있어서,
상기 저에너지 이온 빔 렌즈의 운전전압은 1000eV 이하인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 수송 장치
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9
청구항 7에 있어서,
상기 제2 감속 전극과 상기 저에너지 이온빔 렌즈 간의 간격은 5mm ~ 10mm이고, 연속적으로 배열되는 상기 이온 빔 렌즈들 간의 간격은 10mm 이상인 것을 특징으로 하는 다중 전극을 이용한 저에너지·대전류·대면적 빔 수송 장치
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