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병진 2자유도를 갖는 병진운동기구부; 상기 병진운동기구부와 독립적으로 운동하는 회전 1자유도를 갖는 회전운동기구부; 및상기 병진운동기구부와 상기 회전운동기구부가 설치되고, 내측의 고정부와 외측의 구동부를 구비하는 스테이지 베이스를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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제1항에 있어서,상기 병진운동기구부는 상기 고정부와 상기 구동부 사이에 배치되어 일측은 상기 고정부와 연결되고, 타측은 상기 구동부와 연결되는 심벌기구부를 포함하고, 상기 회전운동기구부는 상기 고정부에 배치되는 스캇-루셀링크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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제2항에 있어서,상기 심벌기구부는 상기 스테이지 베이스 상에 좌우 대칭되게 복수 개가 설치되는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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제3항에 있어서,상기 심벌기구부는, 상기 스테이지 베이스의 상부와 하부에 배치되는 한 쌍의 제1심벌기구조; 및상기 스테이지 베이스의 양측부에 배치되는 한 쌍의 제2심벌기구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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제4항에 있어서,상기 제1심벌기구조와 상기 제2심벌기구조는 서로 직교하도록 배치되며,상기 제1심벌기구조에 변위가 발생하는 경우 상기 제2심벌기구조는 상기 제1심벌기구조에 의한 구동부의 병진운동을 안내하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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6
제5항에 있어서,상기 심벌기구부는, 상기 고정부와 연결되는 내측단부;상기 내측단부의 맞은편에 배치되고, 상기 구동부와 연결되는 외측단부;상기 구동부와 고정부 사이에 배치되는 일측단부;상기 일측단부의 맞은편에 배치되는 타측단부; 상기 일측단부와 상기 외측단부를 연결하는 제1유연힌지링크;상기 외측단부와 상기 타측단부를 연결하는 제2유연힌지링크;상기 타측단부와 상기 내측단부를 연결하는 제3유연힌지링크; 및상기 내측단부와 상기 일측단부를 연결하는 제4유연힌지링크를 포함하고,상기 일측단부와 상기 타측단부 사이에 제1구동부가 개재되는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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7
제2항에 있어서,상기 스캇-루셀링크부는, 일측이 상기 고정부에 결합되는 제2구동부의 타측과 결합되는 제1링크;일측이 상기 제1링크와 연결되고 타측이 상기 고정부와 연결되며, 상기 제1링크의 이동에 의해 회전되어 상기 고정부를 회전시키는 제2링크; 및 일측이 상기 제2링크와 연결되고 타측이 상기 고정부와 연결되는 제3링크를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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8
제7항에 있어서,상기 회전운동기구부는 상기 스캇-루셀링크부의 외측에 배치되어 상기 고정부의 회전을 가이드하는 판스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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9
제8항에 있어서,상기 판스프링은 상기 고정부의 중심을 기준으로 동일한 회전 간격으로 복수 개가 배열되는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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10
제1항에 있어서,상기 병진운동기구부와 상기 회전운동기구부는 상기 스테이지 베이스의 동일 평면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 평면 3자유도 스테이지
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