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상하방향으로 구멍이 형성되는 플레이트, 상기 구멍에 비압축성의 압력전달물질이 주입되어 형성되는 압력전달부, 상기 압력전달부의 하측에 배치되는 다이어프램, 및 상기 다이어프램의 하면과 마주보는 전극을 구비하는 압력센서, 그리고상기 압력센서의 신호를 기초로 압력을 감지하는 회로부를 포함하는 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 압력전달부의 상측이 외부에 노출되도록 상기 압력센서와 상기 회로부를 감싸는 케이스를 더 포함하는 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 압력센서와 상기 회로부를 둘러싸는 폴리머 층을 더 포함하는 압력 측정 장치
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제2항에서,상기 압력센서, 상기 회로부, 그리고 상기 케이스를 둘러싸는 폴리머 층을 더 포함하는 압력 측정 장치
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제3항 또는 제4항에서,상기 폴리머 층은상기 압력전달부의 상측을 포함하는 부분을 평평한 박형으로 덮는 박형 폴리머부, 그리고상기 압력전달부의 상측을 포함하는 부분을 제외한 나머지 부분을 감싸는 폴리머 몰딩부를 포함하는 압력 측정 장치
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제3항 또는 제4항에서,상기 폴리머 층은 폴리디메틸실록산(PDMS) 재질인 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 압력센서는 상기 다이어프램의 휨 정도에 따라 상기 다이어프램과 상기 전극 사이의 정전용량(capacitance)이 변화되는 압력 측정 장치
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8
제1항에서,상기 구멍은 상하방향으로 절개한 단면이 역사다리꼴 형상인 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 케이스는 에폭시(epoxy) 몰딩을 통해 구비되는 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 압력전달물질은 실리콘 오일(silicon oil)인 압력 측정 장치
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제1항에서,상기 플레이트는 실리콘웨이퍼(siliconwafer)이고,상기 구멍은 실리콘웨이퍼 식각 공정에 의해 형성되는 압력 측정 장치
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