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밀폐 구조의 고압 용기 (High pressure container having sealed structure)

  • 기술번호 : KST2014034365
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약 본 발명은 밀폐 구조의 고압 용기에 관한 것이다. 밀폐 구조의 고압 용기는 내부 공간에 유입된 유체의 압력을 이용하여 밀폐하는 밀폐 구조의 고압 용기로서, 상단에 홀이 형성되고 상기 홀과 통하는 상기 내부 공간이 형성되는 하우징, 그리고 상기 홀을 밀폐하는 커버를 포함하고, 상기 커버는 상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿을 수 있도록 상기 내부 공간에 배치된다. 본 발명에 의하면, 초임계 상태의 유체 등에 의해 용기 내측의 공간에서 외측으로 가해지는 압력이 밀폐에 이용되도록 함으로써, 밀폐 효율성이 증대된다. 또한 용기 상단의 내측 단면적이 하단의 내측 단면적보다 크게 형성됨으로써, 밀폐성을 향상시키기 위해 외부의 힘을 빌리지 않고서도, 파스칼의 원리에 따라 용기 내측에 작용하는 유체의 고압을 역으로 이용하여 자체적으로 밀폐성을 향상시키는 효율적인 구조가 될 수 있다. 그리고 분해 및 조립이 용이하고 용기 내부가 완전히 개방될 수 있는 형태로 본 발명이 구성됨으로써, 개폐를 자주하여야 하는 고압 용기에 매우 적합한 형태가 될 수 있다. 특히 웨이퍼, 액정 등이 손쉽게 로딩 또는 언로딩될 수 있다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020100017993 (2010.02.26)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1049771-0000 (2011.07.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.26)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이철수 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0129116-61
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.05.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0048385-91
4 등록결정서
Decision to grant
2011.07.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0371651-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
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번호 청구항
1 1
내부 공간에 유입된 유체의 압력을 이용하여 밀폐하는 밀폐 구조의 고압 용기로서,상단에 홀이 형성되고 상기 홀과 통하는 상기 내부 공간이 형성되는 하우징, 그리고상기 홀을 밀폐하는 커버를 포함하고,상기 커버는 상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿을 수 있도록 상기 내부 공간에 배치되는 밀폐 구조의 고압 용기
2 2
제1항에서,상기 하우징은상기 유체가 유입되는 유입구, 그리고상기 유체가 배출되는 배출구를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
3 3
제1항에서,상기 커버는 상하 방향으로 미리 설정된 양만큼 이동 가능한 밀폐 구조의 고압 용기
4 4
제1항에서,상기 커버는상기 홀의 둘레의 하단과 맞닿는 상단 부분에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 커버 씰 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
5 5
제1항에서,상기 하우징은 바닥부, 그리고상기 홀을 포함하고 하단이 상기 바닥부와 맞닿아 상기 내부 공간을 형성하는 몸체부를 포함하고,상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 감싸는 외측부를 더 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
6 6
제5항에서,상기 바닥부는 상기 몸체부의 하단과 맞닿을 수 있도록 상단에 둘레 방향으로 형성되는 하나 이상의 바닥 씰 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
7 7
제5항에서,상기 몸체부는 상단의 내측 단면적이 하단의 내측 단면적보다 큰 밀폐 구조의 고압 용기
8 8
제5항에서,상기 몸체부는 상기 홀을 포함하고 상기 커버의 둘레의 상단과 맞닿는 커버 고정부,내측이 상하 방향으로 관통되고 상단이 상기 커버 고정부의 하단과 맞닿는 몸체, 그리고상기 커버 고정부의 하단과 상기 몸체의 상단을 결합시키는 복수의 체결 부재를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
9 9
제5항 내지 제8항 중 어느 한 항에서,상기 외측부는 상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 좌측에서 감싸는 제1 외측부, 그리고상기 바닥부, 상기 몸체부, 그리고 상기 커버를 우측에서 감싸는 제2 외측부를 포함하고,상기 제1 외측부와 상기 제2 외측부는 서로 맞닿아 결합되는 밀폐 구조의 고압 용기
10 10
제9항에서, 상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부가 서로 결합 또는 분리되는 이동 경로를 따라 상기 제1 외측부 및 상기 제2 외측부의 하측에 형성되는 하나 이상의 가이드 레일, 그리고상기 가이드 레일을 지지하는 지지 플레이트를 더 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
11 11
제10항에서,상기 바닥부는 하단에서 하향으로 연장되어 형성되는 고정용 부재를 더 포함하고,상기 외측부는 하단에 상기 고정용 부재가 관통되는 관통구를 더 포함하며,상기 지지 플레이트는 상기 고정용 부재가 수평 방향으로 고정되도록 삽입될 수 있는 삽입구를 포함하는 밀폐 구조의 고압 용기
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패밀리정보가 없습니다
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