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세정될 웨이퍼가 장착될, 돌출부를 구비하는 웨이퍼 장착기;혼합물 등이 하측으로 주입될 수 있도록 하는 주입구와, 상기 웨이퍼 장착기의 돌출부가 삽입되어 상기 웨이퍼 장착기가 고정될 수 있도록 하는 웨이퍼 장착기 고정부와, 측면으로부터 슬라이딩되어 들어오는 공압실린더가 삽입될 수 있는 공압실린더 삽입부를 갖는 상부요소;상기 상부요소를 상하로 이동시키는 승하강 공압실린더;측면으로부터 슬라이딩되어 들어오는 공압실린더가 삽입될 수 있는 공압실린더 삽입부와, 혼합물 등이 배출될 수 있는 배출구를 가지며, 상기 상부요소와의 사이에 상기 웨이퍼 장착기가 배치될 수 있는 공간을 형성하는 하부요소;상기 상부요소가 하강하여 상기 하부요소와 맞물리면 상기 상부요소의 공압실린더 삽입부와 상기 하부요소의 공압실린더 삽입부 내로 슬라이딩되어 상기 상부요소와 상기 하부요소를 결합시키는 부착형 공압실린더;를 구비하는 것을 특징으로하는 고압세정기
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제 1항에 있어서,상기 상부요소의 상기 하부요소 방향의 면의 가장자리와 상기 하부요소의 상기 상부요소 방향의 면의 가장자리 사이에는 상기 상부요소와 상기 하부요소 사이의 공간을 외부로부터 밀봉시키는 밀봉재가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 2항에 있어서,상기 상부요소의 상기 하부요소 방향의 면의 가장자리에는 제 1 절곡부가 구비되고, 상기 하부요소의 상기 상부요소 방향의 면의 가장자리에는 제 2 절곡부가 구비되며, 상기 제 1 절곡부와 상기 제 2 절곡부에는 각각 제 1 밀봉재와 제 2 밀봉재가 구비되는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 1항에 있어서,상기 웨이퍼 장착기의 상기 상부요소 방향의 면 상에는 웨이퍼 장착기의 둘레방향으로 홈이 형성되어 있으며, 상기 웨이퍼 장착기의 둘레방향으로 상기 홈을 따라 복수개의 스프레이 출구들이 구비되는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 4항에 있어서,상기 상부요소에 구비된 주입구는 상기 상부요소에 구비된 주입구를 통해 주입된 물질이 상기 웨이퍼 장착기의 홈 방향으로 주입되도록 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 1항에 있어서,상기 상부요소는 상부요소 가이드핀을 더 구비하고, 상기 하부요소는 상기 상부요소 가이드핀이 삽입되는 가이드핀 삽입부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 1항에 있어서,상기 주입구와 상기 배출구는 상호 반대방향에 구비되는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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제 1항에 있어서,상기 고압세정기의 온도를 제어하기 위한 가열원 또는 냉각원을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 고압세정기
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