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상하 개폐되며, 원통형의 처리공간부를 제공하는 내부챔버;상기 내부챔버가 닫힌 상태에서 상기 내부챔버의 기밀 상태를 견고하게 지지하며, 열린 상기 내부챔버로 처리대상물의 로딩 및 언로딩이 가능하도록 이동가이드부를 따라 좌우개폐되는 외부챔버;상기 내부챔버를 상하 개폐하는 내부챔버구동부;상기 외부챔버를 좌우 개폐하는 외부챔버구동부; 및상기 내부챔버구동부와 상기 외부챔버구동부 및 상기 내부챔버의 일측을 고정 지지하는 지지프레임을 포함하는 원통형 고압처리기
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제1항에 있어서,상기 내부챔버는,상기 내부챔버구동부의 구동에 의해 상하 이동하며, 상기 처리공간부의 압력 상승에 따라 기밀을 유지하는 상부내부챔버;상기 지지프레임의 바닥면에 고정되며 다수의 처리대상물을 실장하는 지지부가 내부에 구비된 하부내부챔버; 및상기 하부내부챔버의 바닥면에서 고압유체를 혼합하는 혼합기재를 더 포함하는 원통형 고압처리기
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제2항에 있어서,상기 상부내부챔버는,중앙이 상기 내부챔버구동부에 연결되어 상하 이동되며, 닫힌 상태에서 상기 외부챔버의 상부측 저면에 접하는 원통형의 이동블록;상기 원통형의 이동블록의 외주면에 유격된 상태로 결합되는 유지블록; 및상기 처리공간부의 압력상승에 따라 상기 이동블록이 상향 이동하며 상기 유지블록에 접촉되는 부분의 기밀을 유지하는 실링부재를 포함하는 원통형 고압처리기
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제3항에 있어서,상기 실링부재는 에너자이드 씰인 것을 특징으로 하는 원통형 고압처리기
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제3항에 있어서,상기 이동블록과 상기 유지블록에 삽입되는 다수의 봉히터를 더 포함하는 원통형 고압처리기
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제3항에 있어서,상기 이동블록은 외주면에서 돌출부가 돌출되어 있으며, 상기 유지블록은 상기 이동블록의 돌출부가 유격된 상태로 삽입될 수 있도록 상판과 측면판이 체결되고, 상기 측면판의 상기 이동블록의 돌출부 삽입부분의 내경은 상기 측면판의 타부분의 내경에 비해 더 큰 것을 특징으로 하는 원통형 고압처리기
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제6항에 있어서,상기 측면판의 내경이 상이한 경계부분은 경사면이며, 상기 처리공간부의 압력상승에 의해 상기 경사면에서 하향의 압력이 작용하도록 하는 것을 특징으로 하는 원통형 고압처리기
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제1항에 있어서,상기 외부챔버와 상기 외부챔버구동부는 연결부에 의해 연결되며, 상기 연결부는 상기 외부챔버구동부의 구동축으로부터 상하변위되도록 상기 구동축이 삽입되는 삽입홈을 구비하며,상기 외부챔버는 상기 이동가이드부에 결합되는 가이드를 구비하고, 그 가이드는 고정된 상태에서 상하 변위가 가능하도록 하는 부싱으로 연결된 유동연결판을 포함하는 것을 특징으로 하는 원통형 고압처리기
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