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전기적 신호가 입력되면 굽힘방향과 종방향으로 독립적으로 진동하는 선형 외팔보 형태의 압전소자;상기 압전소자의 제1면에 고정 배치되되, 진동 모드의 위상(phase)가 같아지는 좌/우 절점에 각각 배치되는 제1 변위 확대기구;상기 압전소자의 제1면의 반대되는 제2면에 고정 배치되는 제2 변위 확대 기구;상기 제1 변위 확대기구에 고정 연결되어 상기 제1 변위 확대기구로 전응력을 제공하는 제1 고정 플레이트;상기 제2 변위 확대기구에 고정 연결되어 상기 제2 변위 확대기구로 전응력을 제공하는 제2 고정 플레이트;를 구비하고, 상기 압전 소자는 2개의 공진 모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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제1항에 있어서, 상기 압전 액추에이터는, 만약 상기 압전 소자에 전기적 신호가 인가되는 경우, 상기 제1 및 제2 변위 확대 기구들로 제공되는 전응력에 의하여 상기 압전 소자가 선형 이동하는 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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전기적 신호가 입력되면 굽힘방향과 종방향으로 독립적으로 진동하는 선형 외팔보 형태의 압전소자;상기 압전소자의 제1면에 고정 배치되되, 진동 모드의 위상(phase)가 같아지는 좌/우 절점에 각각 배치되는 제1 변위 확대기구;상기 압전소자의 제1면의 반대되는 제2면에 고정 배치되는 제2 변위 확대 기구;상기 제1 변위 확대기구에 이동 가능하게 연결되어 상기 제1 변위 확대기구로 전응력을 제공하는 이동 플레이트;상기 제2 변위 확대기구 및 압전 소자에 고정 연결되어 상기 제2 변위 확대기구로 전응력을 제공하는 고정 플레이트;를 구비하고, 상기 압전 소자는 2개의 공진 모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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제3항에 있어서, 상기 압전 액추에이터는, 만약 상기 압전 소자에 전기적 신호가 인가되는 경우, 상기 제1 변위 확대 기구에 타원형 궤적 운동이 발생하며, 상기 제1 변위 확대기구의 타원형 궤적 운동에 의하여 상기 이동 플레이트가 선형 이동하는 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전소자의 2개의 공진 모드는 굽힘방향 진동의 공진모드와 종방향 진동의 공진모드인 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 변위 확대기구는 세라믹칩인 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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제1항 내지 제2항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 고정 플레이트 및 상기 제2 고정 플레이트는 외부에 스프링부와 연결되는 것을 특징으로 하며, 상기 제1 및 제2 고정 플레이트가 제공하는 전응력은 상기 스프링부의 탄성력에 기인한 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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8
제3항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동 플레이트 및 상기 고정 플레이트는 외부에 스프링부와 연결되는 것을 특징으로 하며, 상기 이동 플레이트 및 상기 고정 플레이트가 제공하는 전응력은 상기 스프링부의 탄성력에 기인한 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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9
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전 소자는 압전 소자의 길이 또는 두께와 높이를 조절함으로써, 2개의 진동 모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생되도록 하는 것을 특징으로 하는 압전 액추에이터
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10
소정의 길이, 두께, 높이를 가지며, 외부로부터 전기적 신호가 입력되면 굽힘 방향과 종방향으로 독립적으로 진동하는 선형 외팔보 형태로 이루어지며, 상기 길이를 조절하거나 상기 높이와 두께를 조절함으로써, 2개의 공진 모드가 동일한 주파수의 전류에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 압전 소자
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11
제10항에 있어서, 상기 압전 소자의 2개의 공진 모드는 굽힘 방향 진동의 공진모드와 종방향 진동의 공진모드인 것을 특징으로 하는 압전 소자
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