| 1 |
1
광원; 상기 광원에서 발생된 광을 시료에 주사하는 신호빛과 상기 시료에 주사하지 않고 검출기로 전송하는 기준빛으로 편광 분리시키고, 상기 신호빛을 편광 분리시키는 복수의 편광분리기; 상기 시료에 주사하고 반사된 상기 신호빛에서 상기 편광 분리기를 통해 편광 분리되어 전송되는 TE(Transverse Electric)파를 검출하는 광 검출기;상기 시료에 주사하고 반사된 상기 신호빛에서 상기 편광 분리기를 통해 편광 분리되어 전송되는 TM(Transverse Magnetic)파를 검출하여 상기 시료의 편광 다이버시티(polarization diversity)를 검출하는 편광변화 검출기; 및상기 기준빛을 분리시켜 상기 광 검출기 및 편광변화 검출기로 전송하는 빔분리기를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 편광 분리기를 통해 편광 분리된 TM(Transverse Magnetic)파를 상기 편광변화 검출기로 전송하기 위한 반파장판(HWP) 및 광 회전기(PR)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 광원은 헤테로다인 광원이고,상기 기준빛 및 신호빛이 주파수가 서로 다른 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 시료 및 상기 편광분리기 사이에 위치하여, 상기 시료에서 반사된 신호빛의 편광을 소정의 각도로 회전시켜 상기 편광분리기로 전송하는 편광 회전기(PR)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항의 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계;시료대가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동 시키는 XY 스캐너;상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동장치; 상기 광 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광시키거나, 시료에서 나오는 빛을 시준하는 집광 /시준 장치; 및 상기 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계로부터 출력되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면의 정보를 추출하거나, 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하는 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 주사 현미경
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 주사 현미경의 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계는 신호빛이 시료의 표면에서 반사 또는 투과하는 방식인 것을 특징으로 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 주사 현미경
|
| 8 |
8
제6항에 있어서,상기 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계는 I/Q 복조기를 구비하고, 상기 I/Q 복조기는 기준빛에 대한 전기적 신호와 시료에 의해 반사되거나 투과된 신호빛에 대한 전기적 신호가 입력되며, 이들에 대한 I-신호와 Q-신호가 출력 되는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 주사 현미경
|
| 9 |
9
제6항에 있어서,상기 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계는 발란스드 검출(Balanced Detection) 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 주사 현미경
|
| 10 |
10
제1항 또는 제2항의 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계;시료대가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너;상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동장치;상기 시료대를 탐지빛의 진행 방향과 동일한 방향으로 이동시키는 상하 이동 기구;상기 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 미세 거리 조절 장치;상기 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광시키거나, 시료에서 나오는 빛을 시준하는 집광/시준 장치; 및 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하거나, 상기 미세 거리 조절 장치로 상하 이동 기구의 이동을 제어하는 신호를 전송하며, 상기 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계로부터 출력되는 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면 또는 내부에 대한 정보를 추출하는 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이 용한 복합 기능 현미경
|
| 11 |
11
제10항에 있어서,상기 컴퓨터는 상기 상하 이동 기구를 임의의 위치에 고정시킨 후 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제1 단층에 대하여 스캐닝한 후, 상기 상하 이동 기구를 구동시켜 상기 시료대를 이동시킨 후 상기 XY 스캐너를 구동하여 시료의 제2 단층에 대하여 스캐닝하며, 이러한 과정을 반복적으로 수행하여 시료에 대한 다단층 스캐닝을 수행하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 복합 기능 현미경
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 컴퓨터는 시료의 특정 위치에 탐지빛의 초점을 맺히게 하여 기준 위상을 설정한 후, 상기 시료를 XY 방향으로 스캐닝할 때 상기 기준 위상이 변하지 않도록 하기 위한 되먹임 조절용 오차 신호를 미세 거리 조절 장치로 제공하며, 상기 되먹임 조절용 오차 신호에 따라 집광/시준 장치와 시료와의 간격을 조절하며, XY 위치에 따른 되먹임 조절용 오차 신호를 이용하여 시료의 표면의 높낮이를 측정하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 복합 기능 현미경
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,상기 컴퓨터는 스캐닝 결과에서 진폭 신호가 가장 큰 지점을 찾고, 상기 진폭 신호가 가장 큰 지점과 위상이 같은 지점들을 연결하여 표면 형상에 대한 등고선 또는 등고면을 획득하는 것을 특징으로 하는 편광 다이버시티(polarization diversity) 광 간섭계를 이용한 복합 기능 현미경
|
