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헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경(Scanning micrometer using heterodyne interferometer)

  • 기술번호 : KST2014034570
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 주사 현미경에 관한 것이다. 상기 주사 현미경은, 시료로 신호빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 신호빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 헤테로다인 간섭계, 시료가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행방햐에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너, 상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치, 상기 헤테로다인 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광 장치, 상기 시료에 집광된 후 시료에 의해 반사되거나 투과된 신호빛을 시준시키는 시준 장치, 상기 헤테로다인 간섭계로부터 출력되는 I-신호 및 Q-신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기, 상기 A/D 변환기로부터 제공되는 디지털화된 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면의 정보를 추출하거나, 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하는 컴퓨터를 구비한다. 본 발명에 따른 주사 현미경은, I/Q 복조기를 갖는 헤테로다인 간섭계를 이용하여 시료의 표면 또는 내부에 대한 물리적 및 구조적 정보를 획득하여 분석할 수 있게 된다. 헤테로다인 간섭계, I/Q 복조기, 주사 현미경
Int. CL H01J 37/28 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070077275 (2007.08.01)
출원인 서강대학교산학협력단, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0866038-0000 (2008.10.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.08.01)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조규만 대한민국 서울 강북구
2 권강혁 대한민국 서울 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2007-0561609-97
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0014048-32
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0015414-72
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2008.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0442413-77
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0338579-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.07.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0483196-58
8 등록결정서
Decision to grant
2008.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0538077-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료로 신호빛을 제공하고, 상기 시료에 대해 집광 및 시준되어 되돌아온 신호빛과 기준빛을 I-신호 및 Q-신호로 변환하여 출력하는 헤테로다인 간섭계;시료가 배치되는 시료대를 구비하고, 상기 시료대를 신호빛의 진행 방향에 대해 수직한 두 방향으로 이동시키는 XY 스캐너;상기 XY 스캐너의 이동을 제어하는 스캐너 구동 장치;상기 헤테로다인 간섭계로부터 제공되는 신호빛을 시료의 표면으로 집광시키는 집광 장치;상기 시료에 집광된 후 시료에 의해 반사되거나 투과된 신호빛을 시준시키는 시준 장치;상기 헤테로다인 간섭계로부터 출력되는 I-신호 및 Q-신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기;상기 A/D 변환기로부터 제공되는 디지털화된 I-신호 및 Q-신호를 입력받아 시료의 표면의 정보를 추출하거나, 상기 스캐너 구동 장치로 XY 스캐너의 이동을 제어하는 이동 제어 신호를 전송하는 컴퓨터;를 구비하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
2 2
제1항에 있어서, 상기 주사 현미경의 헤테로다인 간섭계는 신호빛이 시료의 표면에서 반사하는 방식으로 동작되며, 상기 집광 장치와 상기 시준 장치는 하나의 대물렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
3 3
제1항에 있어서, 상기 주사 현미경의 헤테로다인 간섭계는 신호빛이 시료를 통과하는 투과 방식으로 동작되며, 상기 시료의 정면과 배면에 각각 집광 장치 및 시준 장치가 배치되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
4 4
제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 I/Q 복조기를 구비하고, 상기 I/Q 복조기는 기준빛에 대한 전기적 신호와 시료에 의해 반사되거나 투과된 후 시준장치에 의해 시준된 상기 신호빛에 대한 전기적 신호가 입력되며, 이들에 대한 I-신호와 Q- 신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
5 5
제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 듀얼 모드 레이저 광원을 이용하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
6 6
제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 발란스드 검출(Balanced Detection) 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
7 7
제1항에 있어서, 상기 헤테로다인 간섭계는 광음향 변조기와 발란스드 검출(Balanced Detection) 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 헤테로다인 간섭계를 이용한 주사 현미경
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1 US08405835 US 미국 FAMILY
2 US20100128279 US 미국 FAMILY
3 WO2009017291 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2010128279 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US8405835 US 미국 DOCDBFAMILY
3 WO2009017291 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 연세대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(2006년 기술기반구축사업) 나노 기술을 이용한 바이오 융합산업 혁신클러스터