| 1 |
1
액체질소를 수용하고, 상기 액체질소의 상부에 공동이 형성되는 액체질소 수용용기,
상기 액체질소 수용용기에 상기 액체질소를 공급하는 제1 공급배관,
상기 액체질소 수용용기에 수용된 상기 액체질소에 상온 기체질소를 공급하는 제2 공급배관, 및
상기 공동에 위치하는 극저온 기체질소를 상기 액체질소 수용용기의 외부로 공급하는 기체질소 공급배관
을 포함하고,
상기 기체질소 공급배관은 상기 액체질소 수용용기에 저장된 상기 액체질소를 경유하여 상기 액체질소 수용용기의 외부로 연장되는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 액체질소 수용용기는,
상기 액체질소가 수용되는 내부용기,
상기 내부용기의 외부에 위치하는 외부용기,
상기 내부용기의 외면을 감싸는 단열재를 포함하고,
상기 내부용기와 외부용기 사이는 진공 상태인 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,
상기 내부용기 외벽에는 수분을 흡수하여 진공도를 향상시키는 수분흡수재가 구비되는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,
상기 액체질소 수용용기에는 상기 내부용기의 내부의 압력을 제어하는 압력제어부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,
상기 압력제어부는 상기 액체질소 수용용기의 극저온 기체질소의 압력을 측정하는 압력센서와, 상기 액체질소 수용용기 내의 상기 극저온 기체질소를 상기 액체질소 수용용기의 외부로 배출하는 배출관과, 상기 배출관에 설치된 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,
상기 액체질소 수용용기에는 상기 액체질소 수용용기에 공급되는 상기 액체질소의 양을 측정하는 레벨센서가 설치된 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,
상기 제2 공급배관의 상기 액체질소 수용용기에 수용되는 끝단은 복수의 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 8 |
8
제5항에 있어서,
상기 제1 공급배관, 상기 제2 공급배관, 상기 기체질소 공급배관 및 상기 배출관이 설치되는 상기 외부용기는 상기 내부용기로 열이 전달되는 것을 방지하는 방열핀 형상의 방열구조를 갖는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
제2항에 있어서,
상기 외부용기 및 상기 내부용기 사이에는 복수 개의 지지대가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 극저온 가스 공급장치
|
