| 1 |
1
액체질소를 저장하고, 공급하는 액체질소 공급탱크,
상기 액체질소 공급탱크에 저장된 액체질소를 피 공급대상에 공급하는 제1 공급관을 구비하는 액체질소 공급부,
상기 액체질소 공급탱크에서 공급된 액체질소를 기화시켜 극저온 기체질소를 발생시키고 저장하는 극저온 기체질소 공급탱크와, 상기 극저온 기체질소 공급탱크에 저장된 극저온 기체질소를 상기 피 공급대상에 공급하는 제2 공급관을 구비하는 극저온 기체질소 공급부, 그리고
상기 액체질소 공급탱크에서 공급된 액체질소를 기화시켜 발생되는 기체질소를 상기 피 공급대상에 공급하는 제3 공급관과, 상기 기체질소를 가열하는 가열수단을 구비하는 가열 기체질소 공급부
를 포함하며,
상기 극저온 기체질소 공급탱크는 별도의 기화된 기체질소를 공급받아 상기 액체질소 공급탱크에서 공급된 액체질소를 강제 기화시켜 상기 극저온 기체질소로 변환시키고, 변환된 상기 극저온 기체질소가 상기 액체질소 공급탱크에서 공급된 액체질소를 다시 경유하여 상기 제2 공급관으로 이동되도록 하며,
상기 액체질소 공급부, 상기 극저온 기체질소 공급부, 및 상기 가열 기체질소 공급부는 상기 액체질소가 기화되는 압력을 통해 상기 피 공급대상에 상기 액체질소, 상기 극저온 기체질소, 상기 기체질소를 각각 공급할 수 있도록 개회로로 구비되는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 제2 공급관 및 상기 제3 공급관은 혼합부에 연결되고, 상기 혼합부는 상기 제2 공급관으로부터 공급되는 극저온 기체질소와 상기 제3 공급관으로부터 공급되는 가열 기체질소를 혼합하여 상기 피 공급대상으로 공급되는 기체질소의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,
상기 액체질소 공급부는 액체질소의 공급을 제어하는 제1 제어부를, 상기 극저온 기체질소 공급부는 극저온 기체질소의 공급을 제어하는 제2 제어부를, 상기 가열 기체질소 공급부는 기체질소의 공급을 제어하는 제3 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서,
상기 혼합부에는 압력센서와 온도센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 5 |
5
제3항에 있어서,
상기 제1 제어부는 액체질소의 유량을 조절하는 유량조절밸브와, 상기 제1 공급관을 개폐하는 솔레노이드 밸브를 포함하고,
상기 제2 제어부는 극저온 기체질소의 유량을 조절하는 유량조절밸브와 상기 제2 공급관을 개폐하는 솔레노이드 밸브를 포함하고,
상기 제3 제어부는 상기 제3 공급관을 통해 상기 피 공급대상으로 공급되는 기체질소의 유량을 조절하는 유량조절밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,
상기 제3 공급관에는 상기 액체질소 공급탱크로부터 공급되는 액체질소를 기체질소로 기화시키는 기화기가 설치되는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,
상기 극저온 기체질소 공급탱크에는 내부 압력을 조절하기 위해 내부의 극저온 기체질소를 외부로 배출시키는 압력조절관이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
| 8 |
8
제1항 또는 제5항에 있어서,
상기 제3 공급관은 상기 가열수단에 의해 가열된 기체질소의 과열을 방지하는 과열방지 온도센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다채널 온도 모사용 개회로 온도조절장치
|
