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검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 광을 출력하는 조명부와;
상기 출력된 광에 의해 상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 획득하는 촬영부와;
상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 방출광중 미리 설정된 파장 대역의 광을 통과시키는 다수의 대역통과필터로 이루어진 필터부와;
상기 획득된 영상에서 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역 별로 그 세기를 연산하고, 상기 다수의 대역통과필터 각각에 대하여 상기 촬영부에서 획득된 다수의 영상을 기초로, 해당 세부영역의 세기가 가장 큰 파장 대역을 해당 세부영역의 방출광 파장으로 하여 파장 및 세기가 표시되는 영상을 생성하는 영상처리부;를 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 조명부의 출력광의 파장을 조절하고, 상기 필터부의 통과대역을 순차적으로 선택하는 제어부와;
상기 영상처리부에서 처리된 영상을 디스플레이하는 디스플레이부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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3
검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 광의 세기를 변경하면서 출력하는 조명부와;
상기 출력된 광에 의해 상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 획득하는 촬영부와;
상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 방출광중 미리 설정된 파장 대역의 광을 통과시키는 필터부와;
상기 획득된 영상에서 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역 별로 그 세기를 연산하고, 상기 출력된 광의 변경되는 세기에 대하여 상기 촬영부에서 획득된 다수의 영상을 기초로 해당 세부영역의 세기 변화율에 따라 상기 해당 세부영역의 방출효율로 표시되는 영상을 생성하는 영상처리부;를 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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4
제 3 항에 있어서,
상기 조명부의 출력광의 세기 및 파장을 조절하는 제어부와;
상기 영상처리부에서 처리된 영상을 디스플레이하는 디스플레이부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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5
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 영상처리부는 상기 획득된 영상이 그레이 스케일(grey scale) 또는 색상으로 표시되도록 연산하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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6
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 출력된 광을 상기 LED 에피웨이퍼에 균일하게 조사하는 확산부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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7
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 LED 에피웨이퍼의 영역을 최대로 하여 촬영하도록 하는 렌즈부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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8
제 7 항에 있어서,
상기 렌즈부는 상기 LED 에피웨이퍼의 크기에 따라 배율이 결경되는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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9
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광의 세기 및 파장을 측정하는 스펙트럼 분석기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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10
제 9 항에 있어서,
상기 영상처리부는 상기 스펙트럼 분석기에서 측정된 광의 세기를 기초로 상기 다수의 영상 또는 서로 다른 LED 에피웨이퍼에 대한 영상에 표시되는 세기를 보정하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치
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11
검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 광을 상기 LED 에피웨이퍼에 균일하게 조사하는 조사 단계와;
상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 다수의 대역통과필터를 통하여 획득하는 촬영 단계와;
상기 획득된 영상에서 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역 별로 그 세기를 연산하고, 상기 다수의 대역통과필터 각각에 대하여 상기 획득된 다수의 영상을 기초로, 해당 세부영역의 세기가 가장 큰 파장 대역을 해당 세부영역의 방출광 파장으로 하여 파장 및 세기가 표시되는 영상을 생성하는 영상처리 단계;를 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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12
제 10 항에 있어서,
상기 촬영 단계는 상기 다수의 대역통과필터를 순차적으로 선택하여 촬영하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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13
검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 광의 세기를 변경하면서 상기 LED 에피웨이퍼에 균일하게 조사하는 조사 단계와;
상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 다수의 대역통과필터를 통하여 획득하는 촬영 단계와;
상기 획득된 영상에서 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역 별로 그 세기를 연산하고, 상기 조사된 광의 변경되는 세기에 대하여 상기 획득된 다수의 영상을 기초로 해당 세부영역의 세기 변화율에 따라 상기 해당 세부영역의 방출효율로 표시되는 영상을 생성하는 영상처리 단계;를 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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14
제 13 항에 있어서,
상기 영상처리 단계에서 생성된 영상을 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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15
제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,
상기 영상처리 단계는 상기 획득된 영상이 그레이 스케일(grey scale) 또는 색상으로 표시되도록 연산하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,
상기 촬영 단계는 상기 LED 에피웨이퍼의 영역을 최대로 하여 촬영하도록 상기 LED 에피웨이퍼의 크기에 따라 촬영 배율을 결정하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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17
제 11 항 또는 제 13 항에 있어서,
상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광의 세기 및 파장을 스펙트럼 분석기를 이용하여 측정하는 측정 단계를 추가로 포함하고,
상기 영상처리 단계는 상기 스펙트럼 분석기에서 측정된 광의 세기를 기초로 상기 다수의 영상 또는 서로 다른 LED 에피웨이퍼에 대한 영상에 표시되는 세기를 보정하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 방법
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